?????????￡?????????????????????????????????????μ?????????Σ??????????????е?????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч???á?

2012?? MEMS???????????壨STMicroelectronics??????????????????????豸????bTendo?????????????????????MEMS???????????????2015??Intel?????????????????豸????Lemoptix??????????????????MEMS???????о???????????Remote EyeSight????????AR????????????2016???????????????????????????????MEMS??????輼??????????????????Innoluce??

2017??3?±?????????????????MEMS??辵

???????????MEMS?????????????????????????????AR??MR?????MEMS???????????????????????????????????MEMS??????????????? MEMS ????????????????????????????С????????????MEMS??????輼????????????????????????????????????

??????????????

??ANNULAR STRUCTURE AND MICRO SCANNING MIRROR??????????????????????

????????????

????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????м???????????????????????????????????????????????????????????????????·????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

??????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ο?????????????????????????????????????????????????

???????????

????????????????????????????????????????????????????￡???????????????????????

???????????????????????????????????????????п????????鯔???????????????????????????????????????????Ч???t????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????辵????????????????????????????????????????????????辵??????????????????????????辵????????????????????????????????辵??????????????????????????????????????辵??????????????????????????????????????????????????辵????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????У??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????С??????????????????????￡???Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????ж???????????????????????????????????′??????????????????

????????????????????????

??BIAXIAL SCANNING MIRROR FOR IMAGE FORMING APPARATUS AND METHOD FOR OPERATING THE SAME??????????????????辵???????????????

??Actuating Mechanism for Rotating Micro-Mirror???????????????????????

??External cavity tunable laser system formed from Mems corner mirror?????????羵?????????????????????????????

??Micro optical grating structure????????????

??PLANAR COIL AND METHOD OF MAKING THE SAME??????????????????????

?????????????????????
??????? ???
????綽??18912617215
????????yinfei@memsconsulting.com
??????????????????????????www.seldominn.net/mems/patent/