- ?????????????????????????????г?????-2019?桷
- MEMS???????????γ?
- ?????????????????????????????????
- ????????????????-2018?桷
- ??????????е?LiDAR????????????????LiDAR????????
- ???MEMS?????????????????????3D??????????
- ???MEMS???????????γ?
- ??????LED???????????????????ú????????
- ???/??????2018~2019??iPhone??????????????
- 2018??MEMS?г?????127???????δ????????????????
??????????MEMS???????????
2013-07-05 18:11:19 ???????? ?????0 ?????
IMEC???????????з?????????????SiO2-Si3N4??????????MEMS???????????????????????1cm2??С????????????????TPMS???????????????????????????????繦???160μW?????????????????У????繦?????10~50μW???????????TPMS??鷯????????????????????????????????????????????????????????????У????????????
?1 ????MEMS????????????????
???????·?г????????????????????????????TPMS?????????????????TPMS????????????????????????????????????????????????????????????????????TPMS??????????е??????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????е???????????????????????????????????
?????????????????????????????????????м???????????????????????????????ег???????????????в????SiO2-Si3N4????塣?·?????????????????????繅???????????????·???????????????????????????????????????????????????
?????????????????????????????????????????????г????????????????????????????糡????·????????????繅??硣???繅????????????????????????λ????????????????Я????????????????????е?糡???????????繅????磬????????????????????繅??????·????????
??????MicroGen????MEMS????????? ????????????????
???????????????????????????????????????????