- ??27???????????????γ?????????????????????
- ??????????????????????-2020?桷
- ??26???????????????γ??????????????????
- MEMS????????????????????????????????
- ??MEMS?????????????2019??????????
- ??24???????????????γ??MEMS????????
- ??????????????????????г?-2020?桷
- ??22???????????????γ??MEMS??????
- 1??????????С????????MEMS?????????о?????
- ???°??壺?????????????????????
??????з?????????????????????????????????????
2020-09-14 09:45:12 ??????й?????? ?????0 ?????
“????”??????Ч??“??”
????????????????Ч??????????????????????????????????????????е??????????е????????????á?????????????????????????豸???е???????????????????????
????????????′??????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????У?????????????????????????????????????????????о?????????????????????????
???????????????
????????????“????”
?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ?????????á?
???????????????磬????????????????е?????????????????????
“???н????????????????????????????????”?????????????????????й????????????????????????????й???????????????????????в???????????н??????????????????????繩??????????????????
??2012?????????????????????????????????????Ч????????е??λ?????????????????????????????????????????????????????????Ρ?
??????????????????′????????????????????????????о??????????л???籡?????????е????????????????????????????????????£???????????????繅???????????????????????????μ繅???????????????Щ??????????????????Ч????
“???????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????????????”?????????й??????????
????????????????????????紵????????????????????????????????????????“???”?????????????flag-type TENG?????????Ч????????
“???”?????????“??”
?о???????????????????????????“????”????
??????????????????????????????????????????????????ī??PET???????????繅????????????????PTFE?????????????????????潺??????????繅??PTFE????????????????????
“??潺????????????????繅??PTFE??????γ??????????????紵???????????????????繅??PTFE???????η???????PTFE???????????繅???????????????????????PTFE?????????繅???????????????????ɡ?????PTFE?????????????繅????????????????????????????繅???·?о????????????????????????????????????????????????”????????????
????????????????????????????÷????????????????????
???????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
“??????????????????????????????????????????????????”?????????
??????????????????????????????????????????о????????????????????????????????÷???????????——????????????????????????????????????????????????????????
??????????“??????????????????????????仯???????????????????????????????????????п?????????????????????????????????????????????????????????????????????40????”
??????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????й???????????????????????о??????????·???·?????
????????????
???о???????????????????????л????????о?????-??-??????????????????????????????????????????????????????????????????
??????????“?????????????й???????????????????????????й???????????????????????”
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????磬???????????????
“???о????????????????????д??????????????”??????У????????????У???????????????????????????????????????????????????????????????о??????????????С?
??????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ???????Ч????????з????????????????????????????λ????????????????????
“δ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С?????????????????????????????????????????????????????????????????”?????????
????????????DOI: 10.1016/j.nanoen.2020.105279
??????棺
??????????????????????? ???????
??????MEMS???????忪?????????????????????
???????????