- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
SUSS MicroTec???XBS300????????
2011-12-08 08:30:00 ?????SUSS ?????0 ?????
SUSS MicroTec???????????????г???????豸???????????????????????XBS300?????????????????????????????????????????????????????200mm??300mm??????????????????????3D?????????????????????????????
????????????3D??????????????????SUSS MicroTec?????XBS300???????????????????????????????????????????????????????????????????? XBS300????????????????????????????????????????????????Thin Materials??TMAT????????3M™???????????WSS?????BrewerScience ®?????????????????????ZoneBOND™???????XBS300?У????????????????????????????????????????????????????????????仯??TTV?????????????? ?????Щ?????????????????????μ??????????SUSS??XBS300?豸????????Щ????????????
“2013??????????????????????????????????????XBS300?????????δ???????????????????”SUSS MicroTec?????ü??????й?Frank P. Averdung???“XBS300?????????ACS300 Gen2??????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????Sternenfels??????????????????????????????????????XBS300??????????????????????????????????????δ??????” ???XBS300?豸???????????????IDM??????????????????Ρ?
??????SUSS????????200mm???????/?????
???????????????????????????????????????????
??????????
- MEMS????豸???????
- ???????????????ML200Plus?????????????????
- "????????"??????????????????????
- ??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- MEMS?????????????????
- ULVAC?MEMS??PZT??籡????????????????????????
- KLA-Tencor??????????·?????????????????????в??
- ???????????????40????????KLA-Tencor
- MEMS??????????????STI3000
- ??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
???????????
- 1.6K??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- 644??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
- 431Nanoscribe??????μ??????????????豸Quantum X
- 393???“????????”????о???????????????????????...
- 272KLA-Tencor?????й??????????
- 269??????????????KLA-Tencor??????????
- 244??????????KLA????????????????????
- 227?????????????KLA-Tencor??????????????????