- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
SUSS????????200mm???????/?????
2012-09-02 08:21:57 ?????SUSS ?????0 ?????
SUSS MicroTec???????????????豸???????????????????г????????????????? ACS200???/???????????????з????豸????????????????????????Gamma??ACS200Plus???????????????4?????????????19??????壬???????????????
??????????????????????????????似??????????????????????MEMS??LED????????????????з???????????????????????????????????????μ?????????????GYRSET®?????????????
“ACS200 Gen3 ??д??????????????????ACS200Plus??????黯?????Gamma ???????????”??SUSS MicroTec ??ü??????й?Frank P. Averdung???“?????????????????????????????????/?????????????????????????????????????????????????”
????????????SUSS
??????MEMS??????????????STI3000
??????SUSS MicroTec???XBS300????????
??????????
- MEMS????豸???????
- ???????????????ML200Plus?????????????????
- "????????"??????????????????????
- ??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- MEMS?????????????????
- ULVAC?MEMS??PZT??籡????????????????????????
- KLA-Tencor??????????·?????????????????????в??
- ???????????????40????????KLA-Tencor
- MEMS??????????????STI3000
- ??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
???????????
- 1.6K??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- 644??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
- 431Nanoscribe??????μ??????????????豸Quantum X
- 393???“????????”????о???????????????????????...
- 272KLA-Tencor?????й??????????
- 269??????????????KLA-Tencor??????????
- 244??????????KLA????????????????????
- 227?????????????KLA-Tencor??????????????????