——SEMICON China 2013

????????

????MEMS?г???????????????????MEMS????????????????Yole Development???о??????????2012??MEMS?豸?г??????5????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????memsstar???????й??????????????SEMICON????????????????????????????????????memsstar??????Tony McKie????????????????MEMS?г??????memsstar??MEMS????????????豸????????????????????????????????????????????????ü????

1. ???????????memsstar???????????

Tony???????????????????memsstar???????н?10??MEMS?豸????????????2004??memsstar????MEMS???????????MEMS?????????????豸???????????г???ɡ?memsstar??????????????????о??????????????????????????????????????memsstar??MEMS?豸???????????????????????????????????????????????з????????????????????Ρ?

2. ????ο??????MEMS?г????й?MEMS??????

Tony??????????????????????????????????????MEMS????????????????г????????????15%?????????????????????????????????????MEMS?????????????????????豸?????????iPhone 5?к???3??MEMS???磬?????Galaxy S3??Note 2??????MEMS??????????????δ??????????????????????10??????mems?????????????????MEMS?г??????

????й???MEMS??????????????????????????????????δ??MEMS??????????????й?????????й?????????????????????????й??г???

3. ?????MEMS???????豸???????????Σ???Щ?????????????

Tony??memsstar??????豸????????????????????????????????????й?????壬???????mems???????????????????豸????3?????????豸???????????????????20%???г??????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????豸?????????????й????????е?λ??????й????????????????μ??о?????

4. ?????MEMS????????????????????????????ЩMEMS??????

Tony??MEMS???????????????г??????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ??????????????????????????????á????????????????????????HF??XeF2???????????????????????MEMS??е????????????SVR???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????硢RF MEMS????????????????????????????

???????????????????SVR??????????????????1?????????????????????е??????????????2????????????????????к?????????????????3????????????е????????????????к??????????????衣

5. ?????MEMS?????????????????????????????

Tony??memsstar??к??MEMS??????????MEMS?????????????????????????????????Fabless????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸??????????????????????豸?????????