??????

MEMS????????????????????????????MEMS????????????????????????豸??????????MEMS?????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????ò??????????????????????????????????????????????????????????洢?????????????????????????????????????в????·MEMS?????????????????????

?ò???????????????????????????????????????·???????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????Labview????????????????????????????????Labview?????????????????????????????????Labview????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????в??????????????С?NI??????????忨???

??????????????????????????????????????????????У?????

?????

1. ???????????????????????????????????????????????????????·??????????????????в???????????????????

2. ??????????????????????????????????????λ?ò?????á???????????????????????豸???????????????????豸????ο??????????????豸??????????????????????????????黯???????????????????????????豸????????????????????????У?

3. ????????????ζ?????????????????????????????????????????????????????????????п???????м??????????

4. ??????????????????????????????????????????????????ж??????????????????????????3????????????????????????е?????

5. ??????????????????????????????????С??

6. ?????????????д洢??????text????????word?????????????????????????????word??????汾???????棬?????????????????????????????????????????????????к????????????

??????

????????

????????????????????????2????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????

1??????Windows 7????????????????????

- ???????????????????????ζ???????????????????????????????????????????????????????????п?????????????????????????

- ???????????????????????????????????????????????????λ?ò?????á???????????????????????豸???????????????????????黯???????????????????????豸?????????????????????У?

- ????洢???????????????д洢??????text????????word?????

- ?γ??????棺???????????????γ?word???????棬???????????????????????????????????????

?1 ????Labview??????????????????????????

?2 ????Labview????????????????????????

?3 ????Labview??MEMS??????????????????

???????????Labview??????????????????????????????????????????????

1????????4U??????????

????9??ISA???????4??PCI????1??PICME????PC?壺4??PCB?????????????????????+/-5V??+/-12V????????????250W??USB??2?????????2????

2?????????????????

·????3·??????????Χ??0-36V???????????0.025% + 1.5mV??18bit????????????????0.03% + 15μA??18 bit??????????????????Χ4.5 kHz?????Σ???????????300W??

3????λ??????????

?????0-20V??0-200V???????????????????0.005% ?????????0.05%

4???????????????

???????У???????У??????????У??????????У???????У????8·???????????????????????????·???????????????????????????????????У????10·????????????????????????????·??????????????·?????????????????У????7·???????????????????????????·??????????????·?????????????????????????????????????

5??NI?忨

NI???????????????????????????????NI?忨????????PCI???????PC???????????3??NI?忨????????????????????????????????

6??????????????????·

???????·?????????????????????????????????????????????????????????+3.3V??+5V??+10V??+12V??+15V??+24V?????????????????????·?????????????????????????????磻????Labview??????????????????????????????????

????????????????????????????????У?????????????????

?????
??????
????wangyi@micro-nano.com
?綽??18217468860