- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?????????DSE200L????????й????崴?2??????????????
2015-04-01 21:02:17 ???????? ?????0 ?????
??????????????з????2??DSE200L????????“?????й????崴?2??????????”????“?й????崴?2???????”????????й????????Э???й???????????Э???й?????????豸???Э????й??????????????????????????·???????????????????????????й???????????м?????????????????
DSE200L?????????????豸?????????MEMS????????????????3D???????????????????????豸?????Bosch????????????70??1?????????????????????????????????????豸??????о??????????????Non-Bosch??????25:1???????????????????25???/?????Non-Boschб????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????豸???м???????????????С????????????????????豸???????????????????????????????????????豸???????ó?????????????????ɡ?
??α??????????DSE200L???“?й????崴?2??????????”??????????????????DSE200L????????????????????????????????????????????????????????£?Я??????????????й?????????????????????
????????????MEMS ???????????? 3D??? ???
???????????????12???PVD????й?????????·о????????Baseline???
???????????????????300mm?????·???????б?????????????
??????????
- MEMS????豸???????
- ???????????????ML200Plus?????????????????
- "????????"??????????????????????
- ??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- MEMS?????????????????
- ULVAC?MEMS??PZT??籡????????????????????????
- KLA-Tencor??????????·?????????????????????в??
- ???????????????40????????KLA-Tencor
- MEMS??????????????STI3000
- ??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
???????????
- 1.6K??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- 644??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
- 431Nanoscribe??????μ??????????????豸Quantum X
- 393???“????????”????о???????????????????????...
- 272KLA-Tencor?????й??????????
- 269??????????????KLA-Tencor??????????
- 244??????????KLA????????????????????
- 227?????????????KLA-Tencor??????????????????