CIRCL-AP™ ?? ICOS® T830 ?????????????????????????

KLA-Tencor ?????????????????KLAC??????????????2?????????????????????????CIRCL-AP™ ?? ICOS® T830??CIRCL-AP ???????????ж??????????????????????????????и?????????????????澧???????????????ICOS T830 ?????????· (IC) ???????????????????????????? 2D ?? 3D ???????????????????????????????????????????????????? IC ?????????????? (OSAT) ???????μ?????????????????????????????????????????????

KLA-Tencor ?????????? Brian Trafas ?????“???????????????????????????????????С??????????????豸????????????????????豸?????????????????????????????Ч??????????????????????????????漰???????? IC ????????????????緋???е????????????????????????????????????????????????????????????幤??????е???????????????????????缶?????????з???????????????????????????飬?????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????”

CIRCL-AP ???????ò???????????????飬???????????????????????п??????????????????????????з?????????????????о??????????????????????????ù??????? (TSV) ?? 2.5D/3D IC ???ɡ??????????? 8 ??п????? CIRCL-AP ????????????????????飬???? LED ??輼??????????????????????????????,????????, ?????????????????????? TSV ?????RDL??·??CV350i ??齨???? KLA-Tencor ?? VisEdge® ????????????????????????????????????????????????飬????? TSV ???????????????????????????????Micro300 ?????ж?????????????????????Bumping??RDL?? TSV ??????и????? 2D ?? 3D ??????CIRCL-AP ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

ICOS T830 ?????????? ICOS ????????м???????????????????????????????????????????????????????????????????о??????????xPVI™ ?????????????????????????????????????????????????и??????????????????????????????????????????????????????????????·????豸???????????ICOS T830 ?????? 3D ?????????????????? Z ?????????????????????xCrack+ ??????????????????? —— ??????????????y?????????????????????ICOS T830 ????????????????????????????????????????и???????????????Ч??????????????

????????????????????? CIRCL-AP ???????? TSV ???????????????????????????????????????????????ICOS T830 ??????????? IC ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CIRCL-AP ?? ICOS T830 ???? KLA-Tencor ????????????????????????? CIRCL-AP ?? ICOS T830 ????????????????????????????????

???? KLA-Tencor??

KLA-Tencor ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ????????塢????????? (LED) ?????????????????????????????й?????????????м???????????????????????????????????????????????????????????KLA-Tencor ???????????????????????????????(Milpitas)??????????????????????????????????????????????????????? http://www.kla-tencor.com (KLAC-P)??