???????????????????????????????????????????????д?????????????????????????????????KLA-Tencor (????)?????????????????????????????????Ч???? ???????????????????????????????KLA-Tencor?????????й????????????????????????????????????Ч???

KLA-Tencor?й????????????????KLA-Tencor????????????40?????????17?????5600??λ?????2015????KLA-Tencor??????????28????????????????????????????????KLA-Tencor??????紦????????????????Щ???????KLA-Tencor???????????????????????????????????????KLA-Tencor???й??????λ?????????????????????????????????????????人??????????з?????????????????????300????????????2000???

KLA-Tencor????????й??г?????????????????????KLA-Tencor?????й????????????????????????????????й????????????????????λ????????????????????????????KLA-Tencor???????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????KLA-Tencor?????????й????????????????????????????????????Ч???

KLA-Tencor??????????????Amir Azordegan????????????????????????????????????????????????????￡?δ????????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????2000??2014??????????????????????????????????1?????????600????800?????????????????????????????????????????90??20???????????й??????г????????????????й????????????Щ???????????????????

KLA-Tencor??????????????Amir Azordegan(??)??KLA-Tencor?й???????????

KLA-Tencor?????????????????з???????????????δ???????20%????????????????δ??3???????????????

??????????????????????????????????????????μ?????????????С????????硢???????????????????????????????????????????????????Χ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????л????????????????????????KLA-Tencor????Э??????????л??????????????????????????????

KLA-Tencor??????????????Amir Azordegan???????????????KLA-Tencor???????? KLA-Tencor??Э????????????????????????????????????????????????????????????????????г??????????????????????????????????????EUV???2????2D??3D??????????????????KLA-Tencor?????????????????????Э??????????Щ?????????

????KLA-Tencor??

KLA-Tencor ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ????????塢????????? (LED) ?????????????????????????????й?????????????м???????????????????????????????????????????????????????????KLA-Tencor ???????????????????????????????(Milpitas)??????????????????????????????????????????????????????? http://www.kla-tencor.com (KLAC-P)??