- ?????????崫????SGP30?????????
- ??39???????????????γ??MEMS???????
- ???????????MEMS??????????????????????????TWS???????
- ??37???????????????γ?????崫????????
- ??36???????????????γ??????????????
- ?????????????????????ü??г?-2021?桷
- ??35???????????????γ?????????????????
- ??????????VCSEL???????г?-2021?桷
- ??34???????????????γ??MEMS??????
- ??33???????????????γ?????????????o??????
???????????????????EVG?????μ??????????????????
2022-01-20 20:29:42 ???????????? ?????0 ?????
EVG®7300 SmartNIL®?????????????????
???????????????MEMS????????????????г????????????豸????????EV Group??EVG?????????????EVG®7300?????SmartNIL®???????????????????EVG7300??EVG????????????????????????????????????????????????????????????NIL????????????????????UV????????
????????????????????????????????????????????????з???????????????????????????????????????????????磬??????????????WLO???????????????????????????????????????????AR??????豸?????????????????????????????????????????????????EVG7300??????12??羧??????и??????????????????????????????????????????????????????????/???????????????????????
EVG???????Thomas Glinsner?????“????????????????????20????????EVG???????????????????????????μ?????????????????????仯????????????????????????????EVG7300?????????SmartNIL??????????????????????????????????????????????????????????????г?????????????????????????????????????????δ?е????????????????о????????????”
EVG7300???????????????????????EVG??HERCULES®NIL?????UV-NIL???????????е??????飬????????????????裬????????????決?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????300 nm????
EVG7300????????????????????????????????????????????????SmartNIL????????????????150 mm??300 mm?????硣EVG7300???????????????????????????????????????????С????λ?????????Ч?????????????????????WLO?????????????
??????
EVG?????????????????????????????EVG?????EVG NILPhotonics®??????????в????????й?EVG7300???SmartNIL????????????????????????????????EVG??????
????EV Group
EV Group??EVG??????塢MEMS??????????塢??????????????????????????豸?????????????????????????????????????????????????????/??????????NIL????????豸?????????????????????????????EVG??????1980??????????????????????????????????????????
?????????
??????????????????
?????????????????????????????????????ALD??????????????
???????????
??????????
- MEMS????豸???????
- ???????????????ML200Plus?????????????????
- "????????"??????????????????????
- MEMS?????????????????
- ??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- MEMS??????????????STI3000
- ?п????????????????????????????????????????????
- ???????????????40????????KLA-Tencor
- ULVAC?MEMS??PZT??籡????????????????????????
- KLA-Tencor?????й??????????
???????????
- 881??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- 501ULVAC?MEMS??PZT??籡????????????????????????
- 216Nanoscribe??????μ??????????????豸Quantum X
- 188?й????41???з?????????????????????
- 140Picosun????????豸??????????????????????
- 132?????????о????????????????????????????????
- 118???????????????????????????????ALD??????????????
- 8???????????????????EVG?????μ???????????...