- ??????????????????SPAD???????????-2023?桷
- ??57???????????????γ????????????????
- ??????MEMS????????????IMU??SMI240?????????
- ??56???????????????γ?????崫????
- ????????\?????г?-2023?桷
- ????????????????????г?-2024?桷
- ?????????崫???????????г?-2023?桷
- ????????????г?????????????????????
- ??55???????????????γ?????е????????????MUT??
- ??54???????????????γ???????????Meta-Optics??
??????????????????????????MEMS????????
2023-11-22 10:33:43 ???????????? ?????0 ?????
????????????????????????HKUST?????????о?С?????????????????????????籡?????????????100???????????????????????????豸???????????е?????MEMS?????????????????????????????
???г???????????????????????????????????????????????t??糡????ī????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????
??籡??????????????????????????????????????С????????????????????????????????á???????????Щ???????????????????????????????????????Щ????????????????Ч???????????????
?????г???MEMS????????????豸????????????е??С?????Я?豸??????????????????????????????????????е??????????????????????????????????
??????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????κ?????????????????????????
???????????????EDP???????????
??????????е????????????????Yang Zhengbao?????????????????У?????????????????????spiny disc???????????3D???????????????о???HKUST???????д???????????о?????????????Nature Communications?????
?о????????????????????糡?????????????ī????????????????γ??????????????????μ?????????????????????
??籡??????????????????????
??????????????3D???????????????100????????????????????Ч???????????????磬??????????????????????10??????????4???辧????????10?????PZT???????????????????
????????????????????????硢?????????????????????????????????????????????????????????????
Yang???????“?????????????????????????ɡ????????????????????????????????????????????????”
???о?????????????????????????????????????????????????г??????籡??????????????????????????PZT???????????????????????????????????????????????????????????20???????????????????????????????????????????????????
??????????????????????????????????????????????6000????????г???????????????????????????????
???о????????????????????????????????????????????????????????á????????????????????????????????????????????г????????
Yang?????????“??????????????????????????????????????????????????????硢?????????????????????????????豸???????????譚??????????????????????????????????????????????\????????????????????????”
?????????
????????????????? ???MEMS ??????
??????Beneq??LZH???????????ALD???????????????????????
???????????
??????????
- MEMS????豸???????
- ???????????????ML200Plus?????????????????
- "????????"??????????????????????
- ??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- MEMS?????????????????
- ULVAC?MEMS??PZT??籡????????????????????????
- ???????????????40????????KLA-Tencor
- MEMS??????????????STI3000
- ?п????????????????????????????????????????????
- KLA-Tencor??????????·?????????????????????в??
???????????
- 1.4K??????????????????/???????????SUSS MicroTec
- 567??ò????????????????????MEMS?????????Epi???
- 389Nanoscribe??????μ??????????????豸Quantum X
- 207??????????????KLA-Tencor??????????
- 199?????????о????????????????????????????????
- 195MEMS?????г???????????????????豸???????
- 138BSE??????Zeus??????????????MEMS?????????????Ч??
- 56Я???????п????????????????????????·???????