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1. J.E.E. Baglin and J.M. Poate “Chapter 9 “Metal-Metal Interdiffusion” Thin Films Interdiffusion and Reactions (edited by J. M. Poate, K. N. Tu and I. W. Mayer), Wiley (New York, 1978), p.311.
2. D. Gupta, D.R. Campbell, and P.S. “Chapter 7 Grain Boundary Diffusion”, Thin Films Interdiffusion and Reactions(edited by J. M. Poate, K. N. Tu and I. W. Mayer). Wiley (New York, 1978), p.164.
3. A. Rardin, S. Kirk, and M. Zussman, “Enabling Thin Wafer Metal to Metal Bonding through Integration of High Temperature Polyimide Adhesives and Effective Copper Surface Cleans”, presented at 6th International Conference and Exhibition on Device Packaging, Radisson Fort McDowell Resort and Casino Scottsdale/Fountain Hills, Arizona USA, or http://www2.dupont.com/WLP/en_US/assets/downloads/pdf/WP_Cu2Cu_Bonding.pdf.
4. Brewer Science Inc. 2401 Brewer Drive, Rolla, MO 65401 USA, http://www.brewerscience.com/products/waferbond/.
7. Thin Materials AG, Elsterstraße 23, 82223 Eichenau, Germany, http://www.thinmaterials.com/technology.
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