??????????????????????????и???? ??????

????MEMS?г????????????????????????????????????????IDM????????MEMS?г?????????????仯——???IC??????????????MEMS??????????????磨TSMC??????????￡?GLOBALFOUNDRIES????????80%??MEMS?????豸??CMOS????豸??????20%??MEMS???е??豸????????????Щ?豸????IC????????8????????????MEMS????????е????MEMS??????????6??????8??磬?ЩIDM???????????????????8???????????MEMS?????????????

????MEMS??IC????????????????????????????MEMS???????????????????IC???????????????????????е????????MEMS???????????δ????????????“One product, One process”???ɡ???????????????????????????????????????????????????????MEMS?????С?????????????е?MEMS???????????????????MEMS????????????????????????????????????????д??????????????????????????????Ч???????????????????

???MEMS??????????????????????????????????????????Foundry Standard Process??????????????????????Joint Customization Process????????????????й????Customer Proprietary Process??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з????????????????????????δ??2-4???????????2????????8?羧???MEMS????????????????????????IP???????????????IP??????????MEMS???????????????????????????????????????IDM????????????????α???IP?????????????????????????????????????????????????????

??????????????????·?????????????????й??????MEMS????????????????????MEMS??????????“???????????????”??????????塣??????????????MEMS???????????Σ???????ж????????滮????????Χ??“???????”??“??????”???????????????????????????????2008?????????????????????￡??????????????????“??????ɡ?Э????”???????MEMS??????????????????????Э??????????輯???·?????????????????????MEMS????????

???MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з?????????γ????????????MEMS???????????????????????????????????????????豸???????????????????????????????????????á????й?MEMS????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????8?羧?????????????????????????????????????????????·????????????????????????????????????????????????????????????С?

????????

??????????????????????????????/о??????????/???/?????????鵂??????滪?????????????и????/??????????????????????????и?????????г?????/????/???????????