??????????????9??29???????MEMS??????????￡???λA??????????????????????????002185.SZ?????????????о?????????????????600584.SH????????????·???????2014???????????????????? ??????????н??????????????MEMS???硢?????????????????о??????????????????????????????·?????????????????????????з?????????????????????????????????????

???????????????????????????????????е??????????????λ???????2013???????????????50????????????????????????????????????飬????????????????з????????·?????????????й???????????????????????????????????????λ??

???????????2003???????2007?????У?2008???????????????????2010????????????????????????2013??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????λ???????13λ??

MEMS?г??????????????????????????????????????????

??????????????MEMS??????????????????????÷??????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????BSI??SSI??3D??????·??????????????￡???????MEMSо????????????????г????????10??15??MEMS?г??????????????????????????????У????????????????????MEMS????????????????????????????MEMS????????е??????λ??

???·??????????????????????????????????????黹?????????????????????????????????????????????????????廹?????????????????????????????????????????г??????????????????????????????????????????е?????????????????????й????????????????????д????????????????μ????????????

???·??????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???л???????????μ?????????????????????????????2???ж??????????????

??????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з??????2020???????豸??MEMS????г??3????????????????С????????????????????????????豸????????????????MEMS?????????????ú?????????й??Ч???

??????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????棬????????????????????????Internet of Everything?????????????и????????????MEMS????????????????????????????????????“??????”(internet of things)????“??????”(internet of Everything)??????????е??????????????????????????????????????????????????????????????У?????????????????????????????????磬??Щ????????????δ?е??????

??????????????????????????????????????????????2012??2017??MEMS?????????????????????70%?????????????????169??????????235???????????????????????????????о????

MEMS???????????????????????????

???????????????????????MEMS??????о????ó????????MEMS?????????IC????з????????????·???????MEMS?????????????????????????????????????????

?????????????????е?MEMS??????????????????????????????????????и???????????????????????????????????????????????????????????????б???????????????????????е?MEMSо???????б??????е????????????????????????????MEMSо???????λ??????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????С???

?????????MEMS??????????????????????檔?????????MEMS???????????????????????????MEMS???????????????????е???40%???е?????????60%??????????????????????????????

????????MEMS???????????????????MEMS??????????????????????????????????￡?????MEMS?????????????????????????????????????????????????????cover????Щ?????????????????????

??????????????MEMS??????????????????????г?????

???·????????????????????е?MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ｘ?????е???????MEMS????飬???????????????????漰??

????????????????????????з????????????“??????????о?????γ????????????12????flichip?????MIS??????????????????μ????????????????????д??????????????SIP?????????WLCSP????????????????????????WLCSP??MEMS????y???????????????????????????????????????3P???????????????????????”

??????????????????????????33??????????????????????????????????????????????з????????????????漰??

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ЩС?????????????????о??????????????????????????????????????????Ρ??????????????????????????з?????????????????????????????????????????豸???????????????????????飬???????????12?羧???????????????????????????ЩMEMS????????????WLCSP????????????顣

???????????????MEMS???????????????3D IC??????????λ????з???????????????MEMS?????????????????????MEMS???????