- ??28???????????????γ????????????????
- ?????????ToF?????????????????-2020?桷
- ??27???????????????γ?????????????????????
- ??????????????????????-2020?桷
- ??26???????????????γ??????????????????
- MEMS????????????????????????????????
- ??MEMS?????????????2019??????????
- ??24???????????????γ??MEMS????????
- ??????????????????????г?-2020?桷
- ??22???????????????γ??MEMS??????
MEMS?????Bio-MEMS???????????????????????????????????????????
2015-12-03 21:16:53 ?????memsstar??? ?????0 ?????
??????????????SAM: Self Assembled Monolayers????????????????????????????????????SAM?????????а?????????????????????????????????и?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
??????????????????
??????壬?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ?????о????????????????????????????????????????÷??????????????????Щ?????????????MEMS???????????????Щ?з?????????????????????????MEMS????????????????????????????????г?????????????????
????????????????????????????????????????β???????????????????????????淢???????????????????????γ????????????????????蹦???β???????????????????????????顣??????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????裨SiO2????????????鷴?????????????????????????????
??????????????????????????????????????????(???????)??
????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
?????????????????????????????????????????á??????????????????λ?????????????????????????彫??????????????????????????????????????
?????????????????????????豸??о???????г??ж?????????????????????????????????????????????????????????????????????????DNA???????????????????
????????
???????????????????????????????
??????????????????????????????????????У??????24??48С?????????????????????????????????????????????????????????????????豸??????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ɡ?????????????????????????????С?
??????????????????????????????????????????????????????С????????????????????????У????????????????????????????????????????????????????48С???????????????????????????????????豸???????memsstar®???????????????????????и???????????????????????????£??????????SAM?????????????????????????????????????
??????Щ??????豸??????????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????δ?????з?????????????????????????????????????????
??????SAM???
SAM???????????з?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????в???????裬???????????????????????????????????????????????????????????????????????裬??????????????????????????????????????????????????5??10???衣??Щ???????????????????????CPD??????????Щ??????????????????Щ???????????????????????????????????????????У???????Bio-MEMS?????????
??Bio-MES?У?о???????LOC: Lab-On-Chip????????????????????????????????ù?????????SAM??????????????????Щ?????????з?????????????????????????????????????????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????Щ???????????????????????????????????????SAM?????????????????????????????????SAM??????????????μ?????????????з????????????????????????????????????????????????????顣???????????????????Ч???????????????????????????????????????????緋??????????????????????????壩??
????Щ?????У?SAM???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????SAM?????????????SAM????????????????????д????????????????????????????Ч???????SAM????????????????????????????????????顣????????????SAM?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????С?SAM??????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????
???????г???SAM????????????????MEMS????У?????????硢?????????????Щ???衢?????????豸??????????????У??????????????????????仯????????????????????е??????????С????????????????????????á?
??????????????????????????????£?MEMS????????????н????????μ?????????????????????г??費(fèi)??????????????????????????μ??????????蹤??????????????
????????????MEMS ???????????? ??????
??????TowerJazz??4??????????Maxim????????
??????Invensas?????????????????????????MEMS?????BVA???????
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????MEMS?????·??η?????о???????????
- MEMS??????????????????????
- GMEMS??????μ????MEMS????????????????MEMS????????
- MEMS?????Bio-MEMS???????????????????????????????????????????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ????????????????
- ???????????FIB???д?????о?
- ?????????????е???????
???????????
- 3772018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- 207????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- 163??????????????????????????????????
- 102EVG??DELO?????????????????????????????????
- 82????????????????SUSS??MRT?????????????????...
- 74???????????VCSEL????????????“?????????????...
- 72Nano Dimension????????????????3D???MEMS???????
- 60??????????150??????????????????????