????MEMS??????????????????????MEMS???????????????MEMS???????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????MEMS?????????????????????????????????????·????????????μ??????t???С?????????????????ò?????????????????????????????????????????塢????????????·??

??????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????IC???????????????MEMS??????棬????????????????????????MEMS?????????????

???????CEO??????????????MEMS??????????????????????????????????????????磬??MEMS?????????????ο?????IC??????????“?????????????????MEMS????????????????????????????????(?????????????)??????????????????”

???????CEO???

?????????MEMS??????????????????IC???????????????????????????仹???к???????MEMS???????????е??????IC??????????????MEMS?????IC?????????????

????????“?????????????????????????????????????????”??????????????????棬MEMS??????????Щ????????????????豭?????????????????????????????巋?????л????????????????????Ч???????????????????MEMS???????????????????????????MEMS?????????????????????????????????Э?????????????

?????????棬MEMS??????????????????У?????????????????IC????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????·???????????????????????????????·????????????????????????????????????

??????????????????????????????MEMS??????IC??????????????????????????????????MEMS??????????????????????????????????·?????磬?д???????????????????????????????????????????渴?????о???????????????????????????????????MEMS?????У??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У?????????MEMSо???????????????

????MEMS?????????????????????ó?????MEMS?????????????????????????MEMS??????????????IC??????????????“MEMS??÷?Χ????????????????????????????????????????????????μ??????????????к??????????????????????????????”???????MEMS?????????????????

???????????????MEMS????????????????????????????????????????MEMS??????????????????MEMS???????????????????????????о???????????????

???????????“IC?????MEMS???????????????MEMS???????????????IC????????????????е??????о???·?????????????????????????????????t??????о???????????????????????IC??????????????MEMS??”

??????????????????????????????MEMS????????????????????????ICо???????????????????????????ó????????????????????????????????MEMS??????????楨??????????????????????????????MEMS?????????????????????3D??????????????

????MEMS????????????????????????????????????MEMS??????????????????ν???MEMS?????????????????????????????????MEMS?????????????????????MEMS???????????????????????????

????????MEMS?????????????IC??????????????????????????????涼???????????????棬MEMS???????IC????????????????MEMS?????????????????и????????????????MEMS?????????????????MEMS??????????????????ж???IC???????????????????г?????????