Femto Tools????????????????????????????????????????????????????????????????????λ????????????????????????????????????????﹤???????????MEMS??????????????????????????

???????????????о??????MEMS???????з???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????д?????????????????????????????????????з?????μ?MEMS??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???

????????????????????????????????MEMS???????????з?????????Ч?????????飬?????????????????????й?????衣??????????????????????鲿??????????????Щ????￡?????????н???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????

?????????????￡?????????趼?????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????鷽????

1. ???????MEMS???????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????????

???????鷽??/?豸:
- ??????
- ?????
- ?и???????????????????????????????
- ???????????е????

2. ?????ò??sidewall profile??????

??????????????????к??????????????????????????????????????????á??????????????????????????????????????Щ?????α??????????????????е?????

???????鷽??/?豸:
- ?и???????????????????????????????
- ???????????е????

3. ?????????

MEMS?????????????????????????????С????????????????????????С???????????????

???????鷽??/?豸:
- ????????
- ???????????е???????????????

4. ?????????????

??????????????????????????????????в?????????????????????????????????????????????

???????鷽??/?豸:
- ?????????????
- ??????????????????????????
- ???????????е????????

5. ????

??????????????????????????????????????Щ????￡???????????????????“??????”????????????

???????鷽??/?豸:
- ???????????
- ????????
- ???????????е????

6. ??????????

??ν????????????????γ?MEMS?????п?????е???????????????е???????????????в?????????????????????????????????????????????????ê??????????????

???????鷽??/?豸??
- ??о?????????????????????????Break-off device layer of a single chip or a test structure??
???????????е????

7. ???????

??????????????????η???Щ??е???????????????????????????????????????????Ч?????MEMS?????????????????????С???????????????????????????????????????о????????????????????????

???????鷽??/?豸:
- ????????????????????????
- ???????????е????

8. ??????????????

?????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????t??????????????????????????????????е??????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??

???????鷽??/?豸:
- ???????????????
- X????????????????????????
- ???????????е?????????е?????