GMEMS?????????????????μ????MEMS???????????????????μ?PZT??????????8??羧????????????PZT???????????????????????MEMS?????????????????е????MEMS???????????S/N???????

????MEMS????????е????65dB???????????????68dB????Э???????Ч?????1???????????????????????????????????е?????MEMS???磬?????????MEMS?????????У?GMEMS????????????????????????????????????????????

???е?????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????65dB??Σ?????MEMS????Ч????????????????迿?????????????????????

????????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS?????в????????????????????????AIN??PZT?????????????????MEMS?????????????????????????????????

???￥????????????????????????????MEMS??????????л?????????MEMS????????????????????????????????????Vesper???????????AIN?????????????MEMS????????????

??Щ??????????????δ??MEMS???缼????????????????????????????????????????Vesper??AIN???????????????????MEMS???磬GMEMS??????PZT????????????6????з????????????????????8??羧?????????????PZT??

?????????????400??C????????????????????????????????????PZT?????????MEMS????????????????GMEMS???????????????????????????????????и??????????γ?磬???????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????弼??????????????????????з?????????????????????????????????????????????????PZT????????????????????е?MEMS?????????GMEMS??????2016??2017???????????????????MEMS???磬??????????????豸????г???