????????????????

?????????湤????????????У?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????????????????????

?????????湤??????????????????????????????????3????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????+????????????+???????????+???????????????????????+?????????????+????????????????

?????????湤?????????????????о????????????????????????????У??????????湤????????????????????????????????????????????????????????????????????湤??????????????????????????????????????????????????????????????????????t??檔??????塢????????ɡ????????????????????????е????????????????Ч????????????????????????????????????

1??????????????????

???????????????е?????????????ɡ??????????????????????????????????????????????????????????漰???????????????????????????????????????????????????????????????X????????ε????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????ɡ???????????????????????????????

??1???????????????????????

??????????????????????????????????????????????????С????????????????????????????ɡ????????????????????С???絥???????????????????????????????????????????e????????????????????????????????????????????????????????????????γ??μ?????????????????????????????????????????????????

??2??????????????

??????????????????????棩????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з???????????????????????????????????

??3????????????????

?????????????????????????PVD????????????????????????????????IBAD????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч???

2???????????湤?????????

??1???????????????????

???????????????????????е???÷????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ???????????????????????????????????????????楨???????????????????????????Ч?????豸?????????Щ?????????????????????÷?Χ???????????????PIII??????????????????????????????Σ???????????????????????????????????????????????

PIII??????????????????Ч??????????????ν?????????????????????棬???????к??????Ч????????????????幤???????????????????????????????????????????????幤????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч???

??2?????????????????????HIPIB??

???????????????HIPIB????????20????70?????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч?????????HIPIB????????????????1??100J/CM2????????????????????????????108??1011K/S???????????????/????????????????????????????в???????????????????????108??109K/S????????????????ò?????????????????仯????????2????????????????HIPIB????Щ??????????????湤????????й??????????????????????????Ч?????????·??

HIPIB???????????
- ???????????????????????????????????
- ??????????????????HIPIB???????????????ò???????????????????仯??

??3????????????????????????????

????????????????????????????PS-PVD????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????VPS???????????????????LPPS???????ü??????????????????????????????????0.1KPa????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PS-PVD???????PVD??????????????????????????????????PS-PVD????????ж????????????????????????????????????????????????????EB-PVD????PS-PVD???????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ü??????????????????????????·????????????????????????棨?翹?????????????????????й??????????????乤??????????????????????????????????????о???

??4?????????????????ECR??

ECR???????????????????????????????????????????????á??????????????????????????е?????????????????????????????????????????Ч????á?ECR??????????????????????μ??о???????????????????????????????????о????????????о???ECR???????????????????????????????????????????????????????????????

??5?????????????????????????FCVA??

??????????????缼??????????????????????????壬?????????????????????????????????棬???????????????????????????????????3?????????????90°???????????????????????????????е?????????????????????????????????????????μ??????

??6??????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????/?????????/???????/???????????????????????????????????????о?????????????????????????????估??????????????Ч??????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????“???Ч?”???????????????????????????????????????????????????????????????????????DLC????????????????????????????????????????в???????????????????????????????????????Ч?????????????????湤???????????о????????

3???????????湤??????

??1???????????????

?????????????????????????????????????????????????????湤????????????????????????????????????????????????????з?????????á???????????????????????????????????ι???????????????????á????????λ????????????????????????????湤??????????????????????????о???

??2???????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????湤????????????????????磬????????????????????????????????????????????????????????????????湤??????????????似?????????????????????????????價?????????????????

??3?????????????????

??????????????????÷??????????ì???????????????????????????λ??????????????????????????????????????乤???????Ч?????15%????????????????????????????????????????象????????????象???????????????????????????????????????л?С?????????????????

?л?С????????????????????????????????л??????????????????и?????????????????????????л????????????????Ч????????????????????????л???????????????????????????Ч???????о??????????????????????????μ??????????干??Ч???????л?????????????????Ч????????????????????????????????y????????????????????????????????Ч????????????????????Ч??????Ч???

??4???????????????????

???????????????????????????????????????????????????ɡ??????????????????Щ?????????????????????????????????????????????????????????????????ж??????????????????????????????????????洦?????????С???????????????????????????????ò????????????????

4?????

?????????湤???????????????????????????????????紦?????????????ú??????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????湤???????????????μ???????????????????????????????漼??????????????????????????????á?????Ч?????????????????????????????湤??????????????е???á?

??????????????????????о?????????????????з?????????????????????????????????????????????????豸???????????????????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CAIBE????????????????RIBE????????????з????????????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????書???