- ??28???????????????γ????????????????
- ?????????ToF?????????????????-2020?桷
- ??27???????????????γ?????????????????????
- ??????????????????????-2020?桷
- ??26???????????????γ??????????????????
- MEMS????????????????????????????????
- ??MEMS?????????????2019??????????
- ??24???????????????γ??MEMS????????
- ??????????????????????г?-2020?桷
- ??22???????????????γ??MEMS??????
??????????????????????????????
2017-03-27 22:26:30 ???????????? ?????0 ?????
??????????VO2???????68?渽?????????°???-??????????????????VO2????μ?б????????P21/c????????????????????????????P42/mnm????????????????????????????????????????????????????仯???2-5 ???????????????????翪???????????????????????????????????2?????????翪???????????????????????????????????????й?????????????
????????????????
???????VO2?????????к????????????????????????????弤?????????????????????-????????????y?????????VO2???????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????д????????????????????????????????????????????С??????????????????????????
??????????????????68 ???????????????????£????????????????????????д???????о?????????????????W6+??Mo6+??Nb5+??Ru4+???????????????????????????????????????????????????????????
??????????????????????????
?????????????????????????????о???????????????????1????似??????????????????????????????????????????????У?????????????????????????????????????У???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????30-60min?????????????????????????????????н??в???????????????????????????380-420?棬???2-4h????????????????????NbVO2????????
????????????????????????????????????????????????????????????仯????????????????????????????????????????????????????????????????42?渽?????????????38%?????????????????8?棬???????????仯???102-103Ω-cm????????????????Ч??????-??????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????仯???????
Advanced LDJ?????????????????????
??????????????????????о??????????????????????????????????н???в??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????θ????й???????????????????????????????????????????????????????????????P????????????????????
?????????MEMS??????SMIC??Invensas???DBI????????????Э??
????????????????????????FeGa???
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????MEMS?????·??η?????о???????????
- MEMS??????????????????????
- GMEMS??????μ????MEMS????????????????MEMS????????
- MEMS?????Bio-MEMS???????????????????????????????????????????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ????????????????
- ???????????FIB???д?????о?
- ?????????????е???????
???????????
- 3772018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- 207????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- 163??????????????????????????????????
- 102EVG??DELO?????????????????????????????????
- 82????????????????SUSS??MRT?????????????????...
- 74???????????VCSEL????????????“?????????????...
- 72Nano Dimension????????????????3D???MEMS???????
- 60??????????150??????????????????????