- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?????????????????????????????????????
2017-05-23 15:56:05 ???????????? ?????0 ?????
??????????????????覡???a?貵???????????????????“??????????????????”?????????????????????????????????????????????μ????????????????????????????????????????α??????????????????????????????
???????????????鱦?????????????????鱦???????????????????????????????????????????????????й????????????????????????鱦????????
????鱦????????????????о????????????Master Dynamic???????????????硢??????????????????????????????????????С????????????????????л?????????“T MARK”???????????????“T MARK???”????????????????????μ??????????????“T MARK???”???????????????????????????250 x 250???????С??5 nm????????????????????
Master Dynamic?????????????????“??????????????????????????裬???????????????????”
?????????????渱????????????“????????????????????????????????α????????????????????????????????????????“T MARK???”???????????????????????????????????????????????????app????????鱦?????????????????Ρ?”
????????α????
??????????????????????о?????????????????з???Advanced LKJ????????????????????????????????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CAIBE????????????????RIBE????
???????????RIBE???He-Ne????????????500nm?????SiO2??????????????27°??4°???????????1200??/mm?????????0.25μm??????????????2.3~4.5nm????????????????????????2~5nm???????????X??????裻????????????1000??/mm Au???????????????????????????X?????????????????????á?????????????????????????????????????????????????????????????豸??????????
??????????????????????
???????????????????8???з???????????
?????????????????????????????????????????????
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????????????SAM????δ????????MEMS?????????????
- ?????????????????????????
- ????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- VCSEL???????????????????
- ??MEMS????????????????????????????????MEMS-Casting????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ?????????????Щ?????????????
- MEMS??????????????Ч?????Ч?????о?
???????????
- 195?????????MEMS Infinity???????????PZT?????????...
- 136?????????????????????????????????????
- 93???????????????MEMS???????????????
- 92????????????????????????????MEMS??
- 78??????????????????????硢??????3D????????????...
- 69??????MEMS??????RVM???????12???MEMS????
- 67????о??????о?3D???????μ????????
- 61?????е??????????????3D??????????????????????...