- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
?п???????????????????MEMS????????????????
2017-05-27 21:24:10 ???????????? ?????0 ?????
??????п??????????????·????????з???????????????8???CMOS???????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????MEMS??????з?????????????????????????????л???????????????з??????
??????????
??????????????????????????????????????·??????????????????????ó????CMOS??????????????????????й????????о???????????????????????????ε???????????????????е???????????δ?????о?????????????????????????????????????????е?????ɡ??????????????????????????????????????????????????????????
?п???????????2015????????????8???CMOS????????й?????????????з?????????????????????????飬????????????????????Y????????????????????????????????????????????????й???????????????????PDK????????????????????MPW???????????????С?
?п??????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????檔
??1 ????????????????????
??2 ??????????????????
?1 ????????????????????
?2 ????
?3 ???
?4 Y?????
?5 Ge?????
MEMS??????
MEMS???????????????????????????????????????????????????ɡ???????MEMS???????????????????????У????????????????????????豸????????????????????????????????????????????з??????????????????????????????????
??????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????ü??????ó???????????????????????????????????·???????????????????ù??????????????????MEMS??ASIC??·??????????????????????????????????????????????????????????????????????????·????ü??????????????????????????????????????ù?????????????????е?????????????PCM???????????????и?????????????????ü??????????????????з??????????????MEMS????????????????????????????????????MPW??????????????2???????
??3 MEMS?????????????????????????????????
??4 ???MEMS????????к????????????
?6 MEMS??????????
?7 ?????????
?8 ?????????
?9 ?????????
?10 ?????????????????
?????????
??????????????????????????????????г?????-2016?桷
????????????????? MEMS ????? ?????? ?????????
?????????????????????????????????????????????
??????MEMS????????????
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????????????SAM????δ????????MEMS?????????????
- ?????????????????????????
- ????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- VCSEL???????????????????
- ??MEMS????????????????????????????????MEMS-Casting????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ?????????????Щ?????????????
- MEMS??????????????Ч?????Ч?????о?
???????????
- 195?????????MEMS Infinity???????????PZT?????????...
- 136?????????????????????????????????????
- 93???????????????MEMS???????????????
- 92????????????????????????????MEMS??
- 78??????????????????????硢??????3D????????????...
- 69??????MEMS??????RVM???????12???MEMS????
- 67????о??????о?3D???????μ????????
- 61?????е??????????????3D??????????????????????...