- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
???????-??????????????????о?
2017-06-26 21:20:29 ???????? ?????0 ?????
??????????????????????????????????????豸?????????Χ?????????????????????-????????????????????????????????????????????????3??????ɡ????з??????????????????壬????????????????????????????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????
??????????????????????????????η?Χ???н???????Ч???????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????ι????????????????и??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж??????????????????????????????????С??????????????????????豸?????
??????????????????е???????????????????????????????????ι???????е?????????????????????????-????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ò????????????????????????????????????????????????????????????
?й?????????????????е???????о???????????о????????????????????????????-???????????????????????1200gr/mm???????200~900nm??????????????????????????????????????????????????????????????????????ò??????????????????????飬????????????????????????????????3?????????????ι???????о???????????????????豸????????????????No.2011YQ120023????
???о???????200~900nm?????????1200gr/mm、????60mm x 60mm???????????????????ι??????????????????????????????????????3????4??????????????????????1????????????θ?????Ч????????Ч??????????????????????Щ????????????????????????????λ?????£?????????η??????????????????????ι???????????

?1 ?????????????????
??????????????????KZ-150????????????????????з??????????????????????????2???????????????

?2 ?????????????????????????1200gr/mm?????????????
???о????????????????????????????????????γ???????-??????????????????????????????3???????????????ε????ι??????????????????????????????????????????飬???????????????????????????????????????????9°??18°??29°3???????????????60mm x 60mm????ò????200~900nm????????????????????Ч??????????????????Ч?????30%?????????Ч?????50%????????????????????????
??????????????????ι?????????????-????????????????????????????????????Σ???????????Ч???????????????????????????????????????????
??????????????????????о?????????????????з???AdvancedLKJ????????????????????????????????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CAIBE????????????????RIBE????
???????????RIBE???He-Ne????????????500nm?????SiO2??????????????27°??4°???????????1200??/mm?????????0.25μm??????????????2.3~4.5nm????????????????????????2~5nm???????????X??????裻????????????1000??/mmAu???????????????????????????X?????????????????????á?????????????????????????????????????????????????????????????豸??????????
????????????????????? ?????? ???
???????????????????????????????????о?
??????????????????????????????С???????о?
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????????????SAM????δ????????MEMS?????????????
- ?????????????????????????
- ????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- VCSEL???????????????????
- ??MEMS????????????????????????????????MEMS-Casting????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ?????????????Щ?????????????
- MEMS??????????????Ч?????Ч?????о?
???????????
- 195?????????MEMS Infinity???????????PZT?????????...
- 136?????????????????????????????????????
- 93???????????????MEMS???????????????
- 92????????????????????????????MEMS??
- 78??????????????????????硢??????3D????????????...
- 69??????MEMS??????RVM???????12???MEMS????
- 67????о??????о?3D???????μ????????
- 61?????е??????????????3D??????????????????????...