???????????????????????У?????????????????????????????????????????С??????????????????á??????????????????????????????á????????????????????????????????????????????????????о????????????????￡?????????????????????????????????????????????й????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????о????????????????????????????????????????????????????????????о?????????ī???Ni81Fe19??????????????????????????????????????б???????????????????????????о???????????????????????ī????????????????????????????????????????????о????????????????????????51202102????????????????????????????????????????MMM2014014????????У?????豸???????????????????????????????CERS-1-89?????????о?????????????鼼?????????????

??????????????????????????????о??????????????????LKJ-1D-150???????????????????????????з???Advanced LKJ????????????????????????????????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CAIBE????????????????RIBE????

Advanced LKJ?????????????????????????

????????????????????????Ei=500eV?????????Jb=1mA/cm2????????T=2min???????θ?????????????????????н??=0°??????????????÷?????????????????????????ó???????3?飬?????????????????????????

??о???ī????????????????????????μ?????????????????????????????б???????????????????????θ????0°??10°??20°??30°??40°??50°??60°??70°??80°???????????????????????????????

???????ī?????????SEM?

??ī?????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????50°?????ī????????????????????????60nm/min?????????????????????????????????????????С????80°???????С??

?ù?????????S. Smoekh??????????????????????ER????????θ?????????????θ?????????????????淨(jìng)??????????????н??Jb??????????n?????????????Y????????????

???????С??????????????????????????ī???????????????????????????????????ī???????????????????????????????????????????????????????????????ī????????????????????????????????????????????????????????????????????????ī??????????С??????????ER??????????????????????????????????ER?????????????????????????????????????ī???????????????????????????????????????С??????????????????????????????Ч????????????????????????????????????????????Ч???????????????????????ī?????????ER????????50°????????????????????????????80°???????????????????????????????????????????????????????????????????????С??