???????????????????????????????????????????????????????????????????????IC ????????????????????????????????????????????????????

???????????Focused Ion Beam??FIB??????????????????????????????о?????????????????????????????????????е???????????????????????, ????????????????????????п??????????????????????????????????????????????????????á?

FIB??????????????????????????????????FIB ??????У??????????????????????????????????????????????ε?????, ???????????檔??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????е??????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????μ???????У?FIB ?????????????????????FIB ????????У???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????У?????????????????????????????????????Ч?????????С?????????????????????????????

????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????塣

??鷽?????????о?????????ξ???Si??100?????????У????????и???????С??5mm*10mm)??????????????????????????????????????????????????????????????????????λ?????????????????????????????????????У???????ν?????????ò???????????????????????

????????????????????μ?????￡???????????????о?????????????????????????????趨??????2um*2um?????????50us??????????100nm?????????????5keV??30keV???о?????????????????????????

?1 ??????????????ν?????б???

?2 ????????????????????

?3 ????????????????AFM?????

?1 ????????????????ν???52°??б?????????????????5keV ????ο???3068nm??30keV????ν?????2269nm????????????趨???????53.4% ??13.45%??????????????????????????????????????5keV ?????????????????????????????????????????????????????????У?????????????????????????????Ч???????????????????TEM??????????У??????????????30keV ???в?????????????????????????????????????С????????????????????

???????1??b???п?????????????ν???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????·?????????beam tail???????????????????ò??

???????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????趨?????????飬??????????????????????????????????????10us??????????50us???????????20s??????????е????仯?????1.5pA??9.7pA ??48pA???2 ?н????????????????????????????С????????????????????????????AFM????????в????????????????????仯?????

?3???????????1.5pA??9.7pA ??48pA ?????????????????AFM???????????????AFM????????????????????????????????4?????

?4 ?????????????????

?????AFM ?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????仯????????С????????????????????磬??????????????????????????????????????????????ò??????????м????

????????????????????ò?????

FIB????????У?????????????????????????????У?????????????????????????????Ч????????????????????ò?????????????????仯?????????????????????о???????仯???????????б?????

?5 1ms???????????????????????A-A??

???5???????2um*4um ?????????????1ms?????1?Σ???跽?????????????????????????????????????У???ο??????????????????????絽?????????????????????????????γ???????????

?????????????ò?????

?????????????????????Ч?????????????????????Щ???????ò?????????6 ??????????С??????50us????????ν??????????20 ?Σ????????????????1000us ???????ν??????????1 ?Σ???????ν???????ν???????

?6 ???????

?????????????????ο?????ν?????????????Ч????????????????????????????????????????????ν??????б??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ν????????????????????ò??????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?塢????

FIB????????????????У????????????????ò??????????????????????????????????30keV ???????ò???????????￡?С???????????????????????????TEM?????????????????????￡???????????????????????????С??????????????????????????????????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У????????????????????ò?????????????????????????????????ò??

??????????????????????о?????????????????з?????????????????????????????????????????????????豸???????????????????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????CAIBE????????????????RIBE????????????????з????????????????????????????Χ???????????????????????????????????????????????????????????????????????書???