????????????δ??????????????????????

????????????????????о?????????????????????????

0 ????

??????? (Micro-Electro-Mechanical Systems??MEMS) ??????????????????????????е??????(??????????) ????????????????????????????????????MEMS?????????????н???????????μ???????е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????á?

MEMS???????????????С????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С?MEMS????????????????????????????????????У???????????????????????????????????????????

??????????????????ù????У?MEMS????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????????仯??????У??????????????????????????????????棬???????????????????????????????????仯??????????й?????????????????????????????1?????MEMS???????????????????????????????????????????????Щ??????????????MEMS???????????Щ????????仯??????????????Ч?????????????????????????????????????

??????????????????????к??Ч??????????????????????????????μ?MEMS?????????????Ч?????Ч??????????????????????

1 ?????Ч?????Ч????

1.1 ???????μ??Ч?????Ч????

?????????????MEMS?????????????Ч?????????????????????????????

????????????????????Ч???????????????????????????????????????У?????????????????????????

Yang Chunhua??Liu Qin?????????MEMS????????????飬???????????????????????е????????????????????????????????????????δ????????????????????????????????Ч???????????????????MEMS???????????????????

Li J??Broas M?????MEMS????????????γ?????飬??????1??????ó???????????????Ч???????????????????????????????????????????????????????????????Ч??????????????????????????????????????????????????????????

?1 MEMS????????Ч??

??????????????3??????Ч????MEMS?????????е????????????????????????????????????е????????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????????????????????渽????????????????????????????????????????????????1(e) ????????????MEMS???????????????????????????譚?????????????????????????????Ч??

Tanner D M???????????MEMS?????????????з????????????Ч??????????￡? ????????????????????????????????????????·?Ч?????2?????????????????????????????????????????????μ????·?Ч?????3?????

?2 ???????????????·?Ч

?3 ?????????·?Ч

???????????????Ч???????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????g????????????????????????????????Ч??

?????о??????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????g???????????????Ч?????Ч????????????

?????????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??MEMS???????????????????????????????ù????н????????????????????????????????????Σ????????????????????????????С??????????????????????????????????????????????Ч???4?????????????????????????S????????????

?4 ???????????????

1.2 ??????μ??Ч?????Ч????

???????MEMS?????????????????????????????????MEMS??????????????Ч?????????????????????????????????????????????????

????????????????MEMS???????????????Ч???????????????????????????????????????Ч??

????????????????????μ?????Ч????????????????μ???????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????ú????????????MEMS?????????????????г??????????????????г??????????????????????????????????????????????????е???????????????????????????????????????????????????????????仯????????Sandia??????й??о?????????????????????????????????????????????Χ??????Ч????15%?????????????????????????????????????????????Ч??

De Pasquale G??Somà A??MEMS???????????????????????????????????????????????????5??????????σa?????????????????σm????????????????Nf???????Ч???????????????н????????σm = 60MPa??σa = 32.7MPa??Nf = 6.6×10^6?????????澧?紦????????????????????????????????????????????????λ????????????????????????????λ???????????????????????????5(d)??(e)???????σm = 65 MPa??σa = 10MPa?????????????????5(f)?????????MEMS???????????????????????????????μ????????????????????????????????Ч?????Ч??????????

?5 MEMS?????????μ?????Ч????

??????????￡?????????????????????????????MEMS???????е????·??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

MEMS?????????????????У??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??

?????????????????????MEMS??????????·?Ч?????????????Ч???????????????????棬?????????2???繅??????????????????????????????????????γ??·????????·?Ч???????????????????μ??Ч?????Ч?????????????????????μ??Ч??????????????????????????е???????·?Ч????????Ч???????????????????????

1.3 ???????μ??Ч?????Ч????

?????????MEMS???????????????????????????????????￡?????????????????????????С?MEMS??????????????????Ч???????????????????Ч???????????????????????????????????????????仯????????????????????緋??????????????

???????????????????Ч??????????????????????????????? ?????????MEMS????????????????????棬?????????????????С???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????μ?????Ч??????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????в????????????????????????????????????????55%????????????????????

Van Spengen W M??????о??????????????????????????????MEMS?????????????????????6????????MEMS????????????????????????????????????????????????

?6 MEMS???????????????

?緋??????MEMS?????????????????μ?????Ч?????????е??????????MEMS?????????繅?????緋??????????????????????????????????Щ?????????????MEMS???????????????????????????????????糡????????????????????緋??????

Hon M???????糡???????MEMS???????????鷢?????????MEMS?????е??????????????????????????????緋????????????2h?繅????????????????????????????????????????ε?????7?????

?7 ????????緋????????

?8???????????????仯????鷢???????????????????????????????·????????????

?8 ???????????

???????????????γ????????????????????????????????????棬???????????????????????????????????????????????????Ч??????Pierron O N???????????????Ч??—????????????9????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????￡??????????????????????????????????????????????????????????????1???????????????????????????????????????????

?9 ????????μ?????????????

1.4 ?±價???μ??Ч?????Ч????

????MEMS???????????????????MEMS??????????????????????????￡?????MEMS??????????????????????????????-40??85 ??????????????????н???125 ????????±??MEMS???????????????Ч??????????????????????·?Ч???

????????????MEMS????????????????Ч??????MEMS???????????????￡?????????????????????????????????????????????Ч???????????????￡??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??

Chen B??????????????????顣????????????????125?? ????????污?????????????????????????????￡???侭?????300K??????±???????????????￡????????????????????????????????????????????????????????????10?????

?10 ?????μ?????????????

???????????鯔?????MEMS?????????????е????????MEMS?????????о?????????????????????????±????????????????????????????????

?????μ???????????????????????MEMS???????????????

MEMS???????????ù?—????????????—??????????????????????????￡????????????????????????????????2??????????????????????????α?????????Ч??

???????????о?????????????????????????????洦??????????????????11??????????仯?????????????????????????????????????????????????????С???????????????????o???μ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??

?11 ?????????????μ?????????

?±價???μ??Ч??????MEMS????????????????????????????????????????????о???????????????????й?????????????????????仯???????????α???????μ繅?????????????????????????????????

1.5 ????????μ??Ч?????Ч????

MEMS???????????????????????????????????????????????????MEMS???????????Ч???????Ч????????????????????????μ??Ч????????????·?Ч??

Shea H R???о????????????MEMS????????????????￡?????????????????????????????????????н???????????????????????????????λ?????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??

Wang L?????MEMS?????????????????????????????????????????????????辧????????λ?????????????????????辧??????????????????????????MEMS??????????????

?????????MEMS?????????·???????????????·???????????????·?????????????????洢?????????????????????????????Ч??Knudson A R?????ADI????????ü???????е?????????????????????????е?????????У?????????????????????????????????????????????????????е???????????????????????Χ?糡??仯??????????????????

1.6 ??????????μ??Ч?????Ч????

??????(ESD)???????????????????????????????????????????MEMS??????????豸??????????????????????????????б?????????????????????????????????????????????????????磬????????????

ESD???????MEMS????????????????е??????????????????????·????????????о???????????????Ч????е???????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч??

Walraven A J A??????о?????????ESD???????????????????????????????????Ч???????????·?Ч????????????????????????????“??”????

2 ????

??????????MEMS???????????????????????±???????????????????μ?????Ч?????????????????????Ч?????????????????????????Ч????????????????????Ч????????????????Ч???????????????

????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????μ?????Ч?????Ч??????з?????????????????δ??MEMS???????????Ч?????????????????н???ο??????

????????

2018??5??25????5??27???????????????“MEMS????????????γ?”???????????У???????????????1??MEMS?????????????????????????????????????????????2??MEMS?????????????????????????????????????????TSV???????3??MEMS??????????????????Ч????????????4??????MEMS?????????????????MEMS???硢??????????????????????????????????????????????????????崫?????????5??MEMS?????????????6?????γ??MEMS??????Tanner?????????MEMS???-???????淽??????

???????
??????????
?綽??17368357393
E-mail??penglin@memsconsulting.com

?????????

??MEMS??????-2017?桷

???????????г?????-2017?桷

??????????г?????-2017?桷

??????MEMS????????г???????????-2017?桷