- ??28???????????????γ????????????????
- ?????????ToF?????????????????-2020?桷
- ??27???????????????γ?????????????????????
- ??????????????????????-2020?桷
- ??26???????????????γ??????????????????
- MEMS????????????????????????????????
- ??MEMS?????????????2019??????????
- ??24???????????????γ??MEMS????????
- ??????????????????????г?-2020?桷
- ??22???????????????γ??MEMS??????
????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
2019-12-06 23:03:20 ???????????? ?????0 ?????
?????????????????????????о??????????????????乫??????MEMS??????????????????“??”????????????????????60???????180????2019????????????20000?6??MEMS?????????????????MEMS?????????????é??
MEMS?????????????????????????????й?MEMS???????????????????????????????????????????????????“?з?——????——???????”??????MEMS????????????MEMS??????o?????????????2013???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о????????MEMS????????????????????MEMS Right????
???????????????????????????????????????????й?MEMS?????????????????????????????????????????????????????????з?????????????????з????????????????????г?????????????????MEMS?????????????????
??2014???????????2017??????????????????????????????γ???????????????????????????????????????MEMS??????????飬??????60???????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????Э?飬????????????MEMS???????——PZT??籡?MEMS?????????????????????????????????PZT MEMS??????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????8?????????????????MEMS????????
?????????
????????????????????????-2019?桷
????????????MEMS ???MEMS MEMS???? PZT ??籡?
??????????771?????TSV???????????????
??????CMOS??????????????????????????8?羧??????????
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????MEMS?????·??η?????о???????????
- MEMS??????????????????????
- GMEMS??????μ????MEMS????????????????MEMS????????
- MEMS?????Bio-MEMS???????????????????????????????????????????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ????????????????
- ???????????FIB???д?????о?
- ?????????????е???????
???????????
- 3772018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- 207????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- 163??????????????????????????????????
- 102EVG??DELO?????????????????????????????????
- 82????????????????SUSS??MRT?????????????????...
- 74???????????VCSEL????????????“?????????????...
- 72Nano Dimension????????????????3D???MEMS???????
- 60??????????150??????????????????????