???????????????????淢?傷??????VCSEL?????????????????????????????????????????????????????????VCSEL????????????????????????Щ??e???????????????????????????????С?????????????????????????????????????????????????……

???????傷??????EEL?????????????LED???????????VCSEL???????????????????á??????????С??????????????????VCSEL???????????????Χ?????????????????????????????????????????Ч???????VCSEL?????????LED????????????????????????в???????????????????????????о??????????·?壨PCB?????????????????????????????????·????????VCSEL??????????С??EEL???????????????VCSEL???н????????

???????????

???????????????????????????????????????С???OPPO??vivo?????????????????3D???????????????ú?/??????????????м?????VCSEL?????????????????VCSEL????????????????г??????????????????г???????????С?????????????????г????л?????????δ?????????VCSEL?г???????????????CAGR??????17%??31%??

??????????VCSEL?о???????????????????????????LiDAR????????????????????????????????????????????м???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????粨?????????巴????????????????е???????????????????????????????????????????????粨??????~1mm??????????/???/????????????100nm~100µm??????????????????????С?????壬?????????????

VCSEL?????????????????????????????????е?3D????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????????????????????????????????????棬??VCSEL????????????????????????????VCSEL???????????????????????????????????????????????漰??????????????????????????????????????????????????????????VCSEL?????????????????????????VCSEL???????????????????????????е??

VCSEL????????

VCSEL??????????л?????????????MOCVD??????????????MBE????????????????????????????γ????????????????????????????????????侵??DBR?????????????????????????????????侵????γ??????????????????????????????????????????????????????????????????????侵????????????г??Ч??????????γ?????????????????侵????????????????????????????????????????????????????棬??????????貨???????

VCSEL??????

VCSEL????????????????????????????Щ????????γ??????????????????????????????磬?????GaAs????VCSEL??????￡?AlGaAs??????????????????Χ?γ?????????????????????????????????????????????????????????????????????

VCSEL??????????????

??????????VCSEL?????????????

????????????壨ICP?????????γ?VCSEL?е???????????????????VCSEL?????????????????????Ч??????в????????κβ?????????????????????VCSEL???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ICP??????????????????????????е??????????????????????????????????VCSEL????????????????????????????У??????????????????????????????OES???????????????

VCSEL???????????????????????????????PECVD?????????????????????裨SiN??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????SiN????????????????????????????????????????????????????SiN??????????????????

?????????????PVD?????????????TiW/Au??????????????????????????????????????Au????????????????????ж???????????PVD???????????????????????????????????????????????????????????

??2016???°?????????VCSEL?????SPTS???????豸??????????VCSEL??????????????SPTS??Omega????Delta PECVD??Sigma PVD????????????????????о????????????????????????SPTS??????????????????????GaAs?????????LED?????????????????????????????顣?????????????????????????www.spts.com??

?????????

??????LED???????????????????ú????????

??VCSEL????????????г??????

??3D????????-2018?桷

?????iPhone X?е?ams????????????

?????iPhone X??ToF??????????????????????

?????iPhone X???????????????