?????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????“???”?????????????????????μ??????????MEMS??????е??????????????????????ETH?????????????????????EMPA???????????????????????????????о??????????????????????￡??????????????????????????????????????????????????MEMS??е???????????

??????????μ??????ò

?????????о????

????С?????????????о??????????ù???????????????????FIB?????????????辧???????????FIB??????????辧???????????????????????????????辧????????????

????????????????о???????????????????????“?????????????????????????????????????????????????????????????——????????”???о?С?鵂????Jeff Wheeler?????Ming Cheng???????“????????????????У????????汻??????????????С??100 nm??????????????HF???????????????????????”

?о?????????????????????????????????????????????????????佇??????????????——?ù???????????????????????????о??????????????

????????????????????????????????????μ??????ò??

???????????1?????????????

???“???????”????????????????

?о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Wheeler??????????????????????????????“???????”????????????????????????ù????????????1????????????????????

???ù????????????????????FIB?????????????????????????????5 × 10⁻⁴ s⁻¹?仯?μ??????????

Wheeler????????????о????????????MEMS??????????????????“?????????????????????????е?MEMS???????????С????????”

Wheeler????????о???????????????????????????????й?????????????????????????????????

?????о????????????????????????????????????????????????????????????????y??????????о??п?????????????

?????????https://www.nature.com/articles/s41467-020-16384-5??