- ????????????????????????????????????
- ??69???????????????γ?????г?????????
- ??????????????г?-2025?桷
- ??68???????????????γ????????????????
- ??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????
- ?????????????紫????????????????????????????
- ?????????????????????????????????
- ????????紫?????????????-2024?桷
- MEMS???????????????????????δ?????
- ??67???????????????γ????????????????
EPFL????glass-in-glass?1???????????????????3D???
2022-04-16 11:04:59 ???????????? ?????0 ?????
?о???????????????glass-in-glass??????????EPFL??????????÷???????????????3D???????????????????????????????????
???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????
????????????е???????????????????????????????????????????3D???????????????
????????????????????????????????EPFL????????о???????????????????“glass-in-glass”??????????????????3D???θ???????-????????????????????????????????????????????
?????о?????????????Optics Express??????????????????????????????????????????3D????????????????????????????????????????????????????
EPFL?о????Enrico Casamenti???????“??????????????????μ????????????????????????????·????????????????????????????????????????????????????????????”
EPFL???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????軹??????????????????????е????????????????????????????????????????????????
?к????????
???????????????????????????????÷?????3D?????????????????裬?????????????????????????????????????????????????£????????????????????????????С?
?о???????????????????????????С??????30????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????2???????????С?
????????????????A???÷?????????????????????????3D???????B??????????????????????????????C??????????????У??????д?????????????????????????????????????????????????????D????????????????????????????????????????????????????е???????E????????嶥??????????κ?????????glass-in-glass????????
???????У?????????????????????о?????????????????????貣?????幹???????????????????EPFL??????????????????????ETH Zurich????е?????????????????????Щ????????Ч??????????????????????????????к????
?????????????????е???????3D????????????
?????????????????????????????к????ε?????????ò????????????????????????????ò??ξ??й??????????????????????к????ι????????????ε??о????
?к????????????A????????????3.5 mm????????50 µm x 50 µm??????????????????????????? ????????????B??????????C?????????????????????????????????D??????????????????????????????
Enrico Casamenti???????“???磬??Щ???????????????????????????????????С??????????????????е???????????”
?????????
?????????????????? ?????? ??? ???????
??????Polaris????????????MEMS???????????????
???????????3D?????????????????????????????
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????????????SAM????δ????????MEMS?????????????
- ?????????????????????????
- ????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- VCSEL???????????????????
- ??MEMS????????????????????????????????MEMS-Casting????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- ?????????????Щ?????????????
- MEMS??????????????Ч?????Ч?????о?
???????????
- 195?????????MEMS Infinity???????????PZT?????????...
- 136?????????????????????????????????????
- 93???????????????MEMS???????????????
- 92????????????????????????????MEMS??
- 78??????????????????????硢??????3D????????????...
- 69??????MEMS??????RVM???????12???MEMS????
- 67????о??????о?3D???????μ????????
- 61?????е??????????????3D??????????????????????...