- ??45???????????????γ??????MEMS?????????????
- ??44???????????????γ???????????????
- ??MEMS?????????????????????-2022?桷
- ??43???????????????γ?????MEMS??????
- ?????崫???????????г?-2022?桷
- ??VCSEL?????????-2022?桷
- ?????????崫????SGP40?????????
- ??42???????????????γ???????????????????
- ??Merit Sensor???????????TR??У???MEMSо???HM??У??????????
- ??41???????????????γ??????????????????
??????????????????λ??????????????????????????????
2022-08-06 10:33:14 ???????????? ?????0 ?????
??Щ????????м??????????????????????????????????????豸?????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????????????????á????????????????????????????????δ??????????о?????????????
?????????????????????????廩??????????????????????????????????????????????????????????????????о??????????????????????????????λ?????????PSIFS???????????á???????????и????????????????????????Χ??????????????????????????????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????о??????μ??·??????о???????????npj Flexible Electronics?????
PSIFS??????????????
PSIFS??????????????????????????????踴?????????????????о????????????????????????????б仯????л?????????????????????????μ??????????????????????????????????????????????????3????????????????????1???????????????????????????????????PSIFS??????????????С???????????????Χ????????0~43.2 mm??????μ???????????4.44% mm⁻¹????Сλ????????20 μm?????н?С??????2.4%?????????????<100 ms????
PSIFS???????
PSIFS????????????????????????????????????????????PSIFS?????????????У?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????PSIFS?????????????
???????????????PSIFS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????
PSIFS?????????????е????
PSIFS?????????????е????
?????????о?????????????????????????????????????????????λ????????????????????????????á????о???????о??????????????????????о??????μ?·????
?????????https://doi.org/10.1038/s41528-022-00198-0
?????????
????????????λ??????? ?????? ?????????
????????????????????????????????????????
???????????
??????????
- VCSEL?????????MOCVD????????
- ???????????????
- ????MEMS???????????é?????????????MEMS????8????
- ?????????п???????????8???MEMS??????
- 2018??OSAT????TOP 25????ˉ???????????????????
- GMEMS??????μ????MEMS????????????????MEMS????????
- ??MEMS????????????????????????????????MEMS-Casting????
- ??????????????????????????????????
- ?????????????е???????
- ???????????о??????????
???????????
- 437VCSEL???????????????????
- 182CMOS??MEMS?????PZT??籡???????????????????δ???
- 181?????51??????й?????12???MEMS???????????????????
- 110IMEC???InP????????????о???????????
- 59MIT???????????μ?????漰????????????????
- 54???????巢???????????????III-V?弤???????????...
- 15Polaris????????????MEMS???????????????
- 11??????????????????????????????????