?????????PI??????????????????е?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????и????????????????????????????????????????????20????90???????????????????????????MEMS???????????????2021???????????????г????????22????????????????????????????????????????????????????????????????·?塢???????????????????????

??????????????????????????????microfabrication???????????????????1994??Frazier?????????????????????????????????????????????????1995??Frazier???????ī/??????????????????????á?2007????????????????????????2?????????????????????????????????????????????????????????????2016??Kim??Meng??????????????????????????м?????????????????????????

????MEMS????????????????????????????????о????????????????????????????????????磬????????ī???LIG????????????????е?????????????????????????????????????????????????????????????????????????3D???????

??????????????????????????????????????????MEMS??????????????????á????????б?????????????????е?????????30????????????????????????????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????????????3D?????????????????????????????????????????????????????MEMS????????????????????е????????á????о?????????“Microfabrication of functional polyimide films and microstructures for flexible MEMS applications”???????Microsystems & Nanoengineering?????

?????????????????????

?????????????????????????

???????????????????????

???????????????

???????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????Щ???????????????????????

???????????о???????????

?????????????????????

3D????????????????

??????MEMS???????3D?????????????????о?????????3D??????????????????????????????????????????????????????????????????

???????3D??

????????

???????2D/3D?????MEMS???????????????????????????????????????????????????μ????????????????????????о????????????????????????????????????????????????????????????á?

????MEMS??????????????????????????????????????????????????????o???????????????????????????μ?????????????????????????EBD??????FEP???????????????????????????????

?????????????????PSPI??????????????????????????ɡ????LIG??EBD???????????????HAR?????????????????????????3D???????????????????????

??????????????????????????????????????????????????г??????????????????????????????????о????????????????????????????е???????????????????????????л?/??????????????????????????????????????????????

????????????????????и??????????????????3D??4D???????????????????????????????÷????????????????????MEMS?????·????????????????????????????????????????

???????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????

?????????????г?-2022?桷

??????????????????????г?-2021?桷

??????????????г?-2023?桷

????????????????μ??????г?-2023?桷??