????????????????????????????•??????????????????????????????—???????????????????????????????????????????????????????????????“????”?????????????????????????к?????????????????????????

?????????????????????????з????????????????г???????????????????????????????????????????????д??????2??????????????????????????????????4?????鯇??????з??????????????????????????????м???????????????

??????????????????

??????????????????????????????????????忴???????????????Э?????????????????????????????????????????????????ζ?????????????????????????????????—????????????????????????????????δ?????????????磬???????????????????????????幹?ɡ??????????Э?????????????????????СС???????—????????????????????????????????

????????????????????????????????????????4000???????С???????С???????????????????????????????????????????????????СС????????????????????????????????????????????????????????????????????

??????????????ù???????????????????????????о?????緋????????з???????????????4λ???????з??????????????????????????????????????????????????????????“????”????????????????????ж??????????????????????о?????????????863?????????????????????????????????????????е?????о??????5400????????????82?????????????47????????????????????????????????1200?????

?????о?????????????????????????????????з???????????????????10nm?????3nm????????????????????????????20%???????????????????????????Σ?????????1?????????????????“????????????????????60???????????????????????????????20????????γ???????????????”???????

????????ù???????????????????????????????????????????ú??????????????????????????????????????????ж???????????????????????????????????????????з??????С??????????????????????????????????????????????????????????г??????????????滮?з???????????????????????????

?????????????????????•????????????????????????????????????????????????λ?ú???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????????????????γ????????????????????????????????????????????δ?????????????

?????????а庣??“????”

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????“????”??????????????????????????????????????????????????????????????к????????????ζ?????

?????y?屨??????????“????”???????????????κ?????κε???????????????????????????????е?????????????????????????????????????1??????????????????л?????????????????????????????????????Σ???????л???????????????ο??????????“????”????????????￡???????????????????????????????

???????????“????”?????У??????Ｋ??????????????б仯??????????仯????????????????????С???????????Я????????????????????????壬???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????乫?????????????????????????????????????????????????????????????“????”??“???????????500???????????????????????120????????????????????????????????У????????????????????????????????????????????????????”

????????????????????????????????????????????????????????????????ΧС?????“??????????????????????????鯔?????????????????????????????????????????????????????????????????????????‘????’???????????????????????????????????Щ???”???????

????????￠??????????????г?

??6?????????????????????????????о???4λ?????????????????????????????????????????????????????????????????????г???????

?????????????????????????洢??????????????????????????????????????????????????????????????????????????21????????????????????????СС??????????о?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????и?????????????????????????????????????????????????綽????????????????????????????????????……

????????????????й????????г??????????????????2004???154??????????????2013?????1300????????????????ó????????????????????????????????????

???????????г??У??й?95%????????????????????Щ????????????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????????????????????ε????????Щ???????????MEMS????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????λ??1246??????????????????С???????????????????????????????

?????????????????г???????????????????????????λ????????Χ??????????ɡ?????????о????????????????????????????????????繅??????????????????繅???????γ????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г???

???????????????????????????????????????????????“??????????????????з??????????????????????????????????????”??????????δ??????????????????????????????????????????????????????????????棬???????д???????????????????????????????????????????????????3?????????????????????????20????????????4000?????