VOC????????л????????????????????л??????????????????????????????????????????????????????????????????л??????????????????????????????????????????????NMEMS?????о???????????????????????????????NEDO????????о????“??????????????????????????”??2011????2014?????????????????????????????????л?????????????????????????????????????????????棬???????????????????2??26???????????ü??????????????????°???????“????????????VOC?????????????”??????????

VOC???????л???????????????????????Σ??????????????????????

VOC?????????????????????Σ??????

????????????VOC????????????????????幤????????VOC?????????????????У???????????VOC??????????????ú??????????????????????е?VOC????????????????????

?????????1??8С??????????VOC?????У????????????彡????????

???????????????????????VOC????????????????????????????????????

???????????VOC???????????????????????????????VOC??????????????????μ??趨?1?????????????????????????

????????????????????VOC??????????????????????????????????????????????????????????????????????VOC?????????????????

???磬???ú????????????????????????????????????Ч?????????????ó????

??????????????????????????????????????VOC?????????????????????????????????????ú?????????????????????????????

??????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????VOC????????

???????????????????С??????????????????????????????????????з??????????????????

VOC??????з??????

?????????????????????????VOC?????????????ù????????????VOC?????????????????????????仯???????????????????????С???????е?????á?

??????????????y???????????壬?????????????????VOC?????????????????????????????????????????????汣????????????????????ü???????????????????????????е?????á?

?????????????????????VOC?????????????????仯????????????????С?????????????

????????t????????????????????VOC?????????????t?????????????????????????????3????????

??t????????VOC??????????3??????

????????VOC???????????????????仯???????????????仯???????????????????Щ????????????????????

???????????????????

?????VOC??????????????????????????Q????????????????????????????????г??????????????????????VOC????????????????????????????????????500kHz?????Q???100?????

???????????????????????????С????????????????????????????????????????ù?????????????500μm??????10μm??С?????????????????????г???????????????500kHz?????Q?????100?????

?????????????????????????????????PVDF??????????????????????PBD??ɡ?

????????????????????????????????????????

??????????????????????100sccm??180????????￡????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????顣????20 mm x 50 mm x 30 mm????????????30μW??