??????????????????????????????????????Texas A&M University???????о??????Scientific Reports???????????????к??????裨SiN????????????????????л???????VOC?????????????????????????????????????????????????????ü??????????????

?1??a?????о??????????饗PDMS?????SiN??????????????b??SiN??????SEM?????????c?????????SiN???????????

VOC?????????????????????????????????????????VOC????????????????÷???????????????????????????GC-MS???????????????????漰??????????????????????????壨MOS?????緋???EC?????????????PID????

GC-MS??????????????????????????????????????????POU????????á????????????????????????к??????????Я???????????VOC?????????????????????????????????????к???mid-IR?????п??????????VOC????????????????????????????????

??????к???????????????????豸???縵????任????????FTIR?????????POU?????????????????????????о?????????????????????о?????????????????????·??????????????????????????????????????Si??Ge???????????????????????????????????о??????????????廯?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????′??檔

??????????????????????SiN?????????????????о????????Si??n_Si = 3.4????SiN???н??????????n_SiN = 1.94?????????????????????и??????????????????????????????????????????????????á?????SiN???п??????????????????????????????????????????壨CMOS??????????????

??Щ?????SiN?????????????????????????????????в?????????????????????VOC??????????????????????????????????SiN?????????????о???????????????????????????????Χ???????????й??????????????????????к???Χ??

????????У???????????????????????VOC????SiN?????????к???????????????????????????LPCVD???????SiN??????н????к???????????Si??n_Si = 3.4?????????????????????n_SiN = 2.0??????????????????????????????и??????????????????????????FDE??????????????????

?2 SiN??????????????????PDMS??????

?3 VOC???????????????

?4??a??SiN???b??Si????????T = 1??2 μm??????????????λ??????

????????????λ = 3.0–3.6 μm????????????????????????????????????????VOC???????????????????????λ?????????и??????????SiN????????????Si?????????5????????????????????????????SiN????????????on-chip???к???????????????VOC???

?5 ??????10 µm?????1 µm??SiN??????????VOC?????к???????a??λ = 3.375 µm??????????b??λ = 3.375 µm????????????c??λ = 3.400 µm????????????

?6 ???????????????????к?????????????a–c??SiN???????????????d–f??NIST WebBook??????е?????

????????CMOS????????????????????к???SiN??????????????????????????????????????????????????????????????????????????е???????顣

?????????

Zhou, J., Al Husseini, D., Li, J. et al. Detection of volatile organic compounds using mid-infrared silicon nitride waveguide sensors. Sci Rep 12, 5572 (2022).

https://doi.org/10.1038/s41598-022-09597-9

?????????

?????????崫???????????г?????-2020?桷

?????????崫????SGP30?????????