?????е???崫??????????????????????????????????е?α???????????????????????????????????Χ???????????????????в???????????????????????????????????崫??????????????????????????????????????в?????????????????????????????????????????????л????漰?????????滯??仯?????????崫?????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????崫?м????????????????????Tohoku University?????????????????University of Pittsburgh??????????о?????????????????????????е???崫???????У???????????????????????????ж?????????????崫??????????t????????????????Ч???????貧???????????????????????????????????д???????????????о??????“Investigation towards nanomechanical sensor array for real-time detection of complex gases”???????Microsystems & Nanoengineering??????

?????????У??о?????????????????????????????е???崫???????У???????????????????????????????ù?-????︴???????????????裨SOI???????????貧????????????????????????????????仯??????????????????????????????????У???????????A???????????B????????????C??????????????D?????????????????????????У???????????????????????

?1 ???о?????????崫?????????????????????

?2 ???崫??????·???????????????

???????????????崫??????????????????????????????????????????屩?-????????????????????????????????????????????/??ζ?????????????????????????????????????????飬???????????????????淽????????????????????е??????????????????????PCA???????????崫???????п?????????????????????????????????????????????????????????

?3 ????????????崫?????????????

?4 ?????????崫?????????????????????????

?5 ??????????PCA????????????????????????????

???????????????о??????????о???????????????е???崫???????е????????????????????????????????崫?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????崫????????δ?????????????????????????????????????????????????ü????

?????????https://doi.org/10.1038/s41378-025-00899-2

?????????

?????????崫???????????г?-2023?桷

??SGX Sensortech???MEMS??????????崫????MP7227?????????

??MEMS??????????????????????????????-2023?桷

?????????崫????SGP40?????????

?????????崫????SGP30???????????