???????????????????????????????????壨???????????????????12.12“???????????????”??2015??12??11???????????????????????????????????????????????????????????300??λ?α?????????λ?????“??????????”????????漰?????????????????????????????????????????δ?????????????????????棬??????????????????????????????????????????

?????????о??ú?????????????θ??????????м????·???Э?????鳤?????????????????????????????????????????′?????????????Э??????λ????????MEMS??????????????????????????

????????壨??????????????3??????????????????????????????й????????????????????????????——MEMS??????????????????ο???????

????????????????????????????ο???????????MEMS???????????????

???????????Intel??AMD????????????CPU????????????????????ο???????????ο?????????????????????????????????????????и?????????????????о?????????????ο???????????MEMS?????????????????????????????????

MEMS??????——“???”???????????????????????

MEMS???????????й??????з????н???????????????????????????????“????????????????????????????????????????????”“MEMS?????????????????????????????????????????????????????????”???????????????????????????????????“??????”???????????????????????????????ο?????MEMS??????????????壬???ж????????????????????????????????????

??MEMS??????????????????????????????????????й?Ψ???????????????????????????????????????MEMS???????????????綥????MEMS???????????????й?????MEMS??????????????2011??????????????????10,000????

2016?????????????????????????????豸???????????????15??????????????γ???????????????200?????MEMS????????????????????????????????“????????”??MEMS???????????????????“???”???MEMS????????????

MEMS??????“??”??????????????????

MEMS??????????????????????й??????????????????????

MEMS?????????????????????????????????????????????????????iPhone 6S????????????????

MEMS???????????????

MEMS??????????????????

?????????????????MEMS???????????????Z/X?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????4.0????????????????????????????飬????????ú?????????????????????????η??????????????????2?????й?????????????????SH200I??SOP8??????????????SZ030HS??

???????????????IMU??SH200I

??????????????????????????demo

SOP8??????????????SZ030HS

??????????????????????????????????????2????????C?????????????????????????о?????????????????????????????????????????“???????”?????????????C+????????????????????????????????????????????????2?????з????????μ???????MEMS?????????????????г??????????????

????????????????2????????C??????

????????????????IBM??ST?????????α??????????????????????????λ?α??????????

????????????????????????????????????“????????”??????????????????????????????????????????????????????????????????????