???????????????????????????????????????????KYOCERA Corporation?????????????????MEMSг???????????Tikitin??Tikitin??????????о?????VTT???????????????????????2016??5?￡????λ????????????Espoo, Finland????Otaniemi???????????????????MEMSг???????????????г?????г???????????????á??????????????δ???????????????????????

Tikitin??2017??11???????370????????????????MEMSг????????????????????????????????Tikitin??????λ?????????MEMS?????????????????????????????澭?????????ɡ?

Tikitin???MEMSг????????

Tikitin????????????????????MEMS????????????????20????о??????2015~2016???????о????????????????????????????????????????Tikitin???????ü??????????

Tikitin????????MEMS?????????????????knowhow?????????????????????????????????MEMSг???????????????MEMSг?????????????????????????????·????????????????????

Tikitin?????????MEMSг????????

Tikitin??MEMSг?????????????????????AlN???????????????????????Χ?????????????????????+/- 10 ppm????“????ζ???????????????????????MEMSг??????????????????”Tikitin?????й??????????Aarne Oja???Tikitin???MEMSг??????????????Χ?16 MHz~120 MHz?????????о???????????????λ???????????????????????

?????????????????ü???????????????MEMS??????oven-controlled MEMS oscillator, OCMO???????????????????2??С???????????MEMS???????????????????????OCXO??????OCMO??????С??硢????????????????е????????????4G/5G?????????г??е?С??????

Tikitin OCMO

??Aarne Oja???Tikitin????????????VTT???????????о??????Micronova????????????MEMSг?????????????????????2019??Tikitin??????????OCMO??????MEMSг???????????????????????

Tikitin??????????????????????

?? Tikitin BEAT?????????????Tikitin???е??????????????????????????????????????????????MEMSг?????????????????г???????????????????????????С?

?? Tikitin OCMO??Tikitin???????MEMS????????????OXCO???????????????????MEMS??????С??硢?????????????????

?????????

????????????????????????-2019?桷

??5G?????????????????????????-2019?桷

??MEMS??????-2019?桷