- ??55???????????????γ?????е????????????MUT??
- ??54???????????????γ???????????Meta-Optics??
- ??53???????????????γ?????MEMS??????
- ?????е???????????????????-2023?桷
- ??52???????????????γ??????????????????
- ??MEMS??????????????????????????????-2023?桷
- ??51???????????????γ?????????????????
- ??50???????????????γ?????弤?????????????
- ??????MEMS????????????IMU??SCHA634?????????
- ??49???????????????γ????????????????
MEMS??ù????-????????
2011-11-30 19:02:15 ???????? ?????0 ?????
?λ??????MEMS??ù????
?????????2??
??????
1??????????????????????MEMS????????????з?????????г?????ú????????
2??????г?/????/???????????????????????
3????????????/?綽/??????????????????????????????????
4??????????????????????豸?????ú???÷?????о?
5??????????????????
??????
6?????????????????????????????????????????????????????ú?????????????????
7?????н????????????????????????????
8?????????????????????,???????????????,????????????????
9?????????????????
10?????Э?????????????????????????????????Ч????????
---------------------------------------------------------------
?λ???????????ù????
?????????2??
??????
1?????????????????????????????,?????????????????????
2????????????????????????????????????????
3????????/????????????,??????е????
4???????????????????????????м?????????????????
5??????ù?????????????Э??????????????????????MEMS???
??????
6??????????????????????????????????????
7?????????????????/??????????????????????
8????·????????????,??????????C?????????????????
9?????????????????н????????????????????????
10???????????????????????????????????г??????????????
?????????????qlee@miramems.com??
???????????????п??????????
??????????2011.9
?????1000???????????
????????????????????????????????????????????
????????????????????·398??C417??
??????MEMS???????????????????????????????????
????????????MEMS??ù????
??????MEMS????????-????????
??????MEMS???????-???????