???????????????λ??????????У????????????????????????????????????????μ??????????????????????????????????????????????λ???????????????????????????????6????????????С????60??????????????????????????е??????????????????????????????????????????μ??????????Micronas???????????μ???Ч?????????????У?HAL36xy??HAL38xy??

?????????????????ν??“???????”???????Fraunhofer?????·?о?? (FhG IIS)?????????????????????????????????Щ????Micronas????????? Micronas????????????“Hall-in-One”??pixel cell???????????????????????HAL 36xy/HAL 38xy??С???Щ????????а???7??????????????????????????λ????????????????????????á?

?1 3D?????????????????

Micronas????????????“??????????”??????????????????????????????λ????Ч??????????????

???????????????ü???????????????????????AMR????????????裩???????????????????????????????CMOS????????ɡ???AMR??????????????????????????????????????????????????360°????????????????в?????Micronas?????????????????????????????????ν??“pixel cell”?????????????????????????????????ɡ?????pixel cell????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

HAL36xy???????????????Bx??By????HAL38xy??????????????????????????????????????????????????????????????????Bx??Bz???????By??Bz???????????????????????????????????????????????

HAL36xy?????????????????360°????????????緽???????????????????????????????????????2?????????????????д????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?2 ???????????????HAL36xy????????

????????????????????????????????з???????????????仯?????????????????????????С????Щ??????????????????Χ??–40?浽170?棨??????????????????????????????????????????????????????У????????????·??????????????????????????????????????????????б?????????????????????????????Χ?????????????????????Χ????????????????????????÷?Χ????????????岢??????????????????????????????????ν?????????????????

???д????????????HAL38xy???????????λ??????????????????????????50%????????????10mm?????????????????????15mm????????????У??????????????????????????????????3?????ú?????????????и?????????????

?3 ???????????????????????????

???????????????????????У?????????????????????????λ???30%????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

HAL38xy????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????м?????????????????????????????????п???????????????????????????????е?????ж??????????????????????????????????????????????????????????????????????м?????????????????????????????HAL38xy??HAL36xy????32?????????????????????

???????????????????????????????????????????磬???????????????????????????ü?????????????Micronas??????????????????????????????????????????г????????????????????????????????Micronas??????????г??????????????????н???????????????????????????????????????????????????????????????????????????á?