?????????????????????ó?????? ?1???????????????????????????????????????????????????????????????? ?????о??и??????С?????????????????????????????????????????? ??????????????棨SQUID?????????????????????TMR??????????????????????

?1 ??????????????????????????

????????3????????SQUID???????μ?????

SQUID???????????????????????????????????????????????????????fT?????????????SQUID??????? ??????10fT?????????????SQUID???????????????????????????????????????????2????????????SQUID?????????????????????????????????ó????????????????SQUID??? ??Χ?? ?????3?????????????SQUID???????μ???????1987??M. K. Wu????α???????????????93K??YBaCuO???3????????????????ζ??ò????????????????￡?77K????????????????????????4K???????1???????????????????????????? ????????????????????????С?????????????????3????????SQUID??????????????????????????????о????????????????????????????????????3????????????????SQUID????????????????????????????????MEMS??????????YBaCuO???????SQUID??????????????????????????50fT/sqr(Hz)?????@1Hz???? ??????????SQUID???????????????????????????????????????1????????????????1?????SQUID?? ??????????SQUID??????С??????????????????????3?????????????????????SQUID???????????

??????MEMS?????????????????????

???????????????????????????????????????????ù?????ü????????????????????????????μ?????????????????????????????????????????仯?????????????????????????????????????????????????????1fT/sqr(Hz)??@1Hz??????SQUID??????????????????????????????????????????????????3????????????????????????????????????????????????????????????? ???????????????С????????????????????????????????????????о????NIST???????????MEMS??????????????????????????????? ??Ч???????????????? ???????????????С??????????????????????????????????? 6pT/sqr(Hz)??10Hz-1kHz??????????????????????“????????-???????”??SERF?? ???????????????MEMS??????????????????????????? ????????????????????? fT/sqr(Hz)??@1Hz???????????????????? ???????γ?SERF???????????????????????????壬 ?????????????????MEMS????????????????????

?2 NIST?????MEMS???????????

?????????????????????????????

????????????????20????30?????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????о????????????????????? ??????????о?????????????????????????????????????????о???????????????????????????????о??? ????????????????????????????????仯???????????????仯??????????????η?????仯???????????????????????о???????????????????????????????pT?????????????????????????????????????????????????????????????????С?????????????????????????????????о?????????????????????????????С??????????????????????????????????? ????????????????????о??????????????????????????????????????о??????????A. Baschirotto?????????????????????????о?????PCB??????????CMOS?????IC?????????к????????????????nT/sqr(Hz)??@1Hz??????????????????????н??????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??

?????GMR??MTJ??????????о???????

GMR??????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????????С????????????????о????????

??1988????η???GMRЧ????????й?GMR??????????????????????????????ν???????????????????????????μ???????MTJ???????????仯?????????????????2006??S.Yuasa?????????????????t??MTJ?л????????仯??410%??????2007??R.C.Chaves???????26???????????t??MTJ?У???????ú?????????????????????????????87%/Oe???????????????????????330pT/sqr(Hz)??@2.5Hz??????????????GMR???????????о???????????????????????????????????????????????1/f?????仯??2009???????????????????о???????????????????????????????о??ó???MTJ???????????????????????????????????????????????????1/f????????????С??????????

?????????????????A.S.Edelstein???????????????????????????ü???????MEMS????????????????????????????????????仯?? ????????????????????????GMR ??е????????????????? ?????????????Ч???????1/f??????????GMR???????????????????pT????

?3 ??????????????????????????????

????????е???????????????????Ч?????????????????????????????????????????????????????????????????GMR????????廯????????????????4???????????????????????????nT/sqr(Hz)??????80pT/sqr(Hz)?????@1Hz?????????????????ī????????????????????????????????MTJ????????????????????????????????1pT/sqr(Hz)??@1Hz????????????ī??????????????????Ч???????????????????????????????????????????′????

?4 ??????廯???????????????????