????????????????????????????????????б??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Χ????????????????硢??????????????????????????????????????????????е????????

?????????????????????1???????????ù????????о?????IAF????????????輼???о?????ISIT????????о??????????????????????????AlScN????????????沨??SAW???????????????????????????-?????DC-DC?????????????????????????о???????????IEEE Sensors Letters?????

???SAW????????????????????????????????????????????????????????????????·??????г?????????????????????о??У???????????????????????????????SAW?????????????????????????????????????????????????FeCoSiB????????Ч???????????????????ΔEЧ??????????SAW??????仯??????????????????????????????????????????IDT?????????????????????????????????????????????????????????????????????????

??SAW?????????????AlScN?????????Sc??????????32%?????????8????????????????SAW??????????FeCoSiB????????????????????????????????????????????????????????Χ???????????????????????????????????С?????????????????????????????????????Χ?± 5 A????????λ?????IC????????????????296 MHz?????￡?19 dBm????????35 dB?????????????????????????????????????????????2.5 mm????1.2 mT????????￡?????????????18.28°/mT??????????± 5 A???????????Χ???С??????????????????????????????????????????????·????1 µs?????????

?????????????SAW???????????????????λ?????

???????????λ?仯

?о????????SAW???????????????????????????·????????????????????GaN????48 V????DC-DC???????16 kHz???????е????????????????????????

DC-DC?????????????????????????????

?????????Σ???е??????/???????????????????????????????????????

??е??????òο???????????SAW???????????????????

?о???????????AlScN?????SAW???????????????????????豸????????к??????á??????о??????SAW??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????δ??????????????

?????о????????????????????????1??о??????DFG????????

?????????https://doi.org/10.1109/LSENS.2022.3205853

?????????

???????????????г?????-2020?桷