???????锌??????????????????芯????????芯????????

????????????????????????????????/?????????????Bosch?????????Hamamatsu?????????????????渭?MEMS??杈�?????????????MEMS??杈�????MEMS?????????????????MEMS???????????位??IDM????????????????MEMS??杈�???????????????????3D?胁???????????MEMS??????????????????????????MEMS??杈�??????????????????????????锌??????????????????芯????????芯???????????????????????

???????????2000?????????MEMS?芯?????????????????MEMS???????????????芯????????械???????????973??863???锌????????锌?????芯???????芯???????????????????????????2002????????锌???????1???????????锟�?????????????????????????????????????????????????眉??????????胁????????AWG????2006????????????芯?????????????MEMS??????芯???????????芯????????MEMS?????

????????????????????????MEMS??杈�??????????????

??????????????MEMS?????MEMS?????????霉??MEMS????????????????渚�??MEMS??????????????????MEMS??????MEMS???????????????????????????械???????????MEMS????????????????????10°????????????????????????????????位???琛�???????????????“MEMS??杈�”???????????小????????MEMS?????MEMS??杈�?????????????????????????????械???t??泄?????????????????????????????????????????????????

??????杈�????????MEMS??杈�??????谐???????????????谐???MEMS??杈�???????械谐?????????????????????????????????????????琛�????????????????????谐???????MEMS??杈�???????谐????????杈�????????璺段�?????????????????????????????????????????????瑁�????????围????小??????MEMS??杈�?校???????????????????谐????谐??????????????????????????MEMS??杈�?????????????????????????杈�???薪?????????????????????????????????杈�??芯???????????瑁�????????MEMS??????????????浼�???????MEMS??杈�??????????杈�??????????????位??????瑁�???????????????TI???????????DMD??????????????????????

??????????????????谐?????MEMS??杈�???????????60-70°?????????????kHz??????????????????????????????????????????30nm?????????小??50nm?????????????????3D?胁?MEMS????????????????????????????????

???????????????????杈�????????????????MEMS??杈�????????????

??????????????????????????????效????????????????????效?????????渚�???????????????????????????????渚�??????????????杈�????????????????杈�?????1?????????????缍�????????????????????????????谩??????????????????2????????????????????????杓�????????????缍�??????????????????????渚�?????????????????琛�????????????????瑁�?????????????????????????????????????????????????杈�???????????????????????????????瑁�???????????????????????????????????????????????????????

?1????????杈�??2??????????3??MEMS??杈�

MEMS??杈�?????3??????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????械????????????????????谩?MEMS??杈�???????小?????????????????????????????????些???????MEMS??杈�?????????????VR/AR??????????MEMS??????????3D?胁?3D????????????????????????????(HUD)????????????????????????????????????璞�????????

??????????????????2??????????澹⊿T?????????????MEMS??杈�??????

???????????????????????????????????????????????????????????BML050?????4??????????????????????????????????????????魏伪???????????????璞�???????????????????妤�????????????MEMS??杈�??????????????????杈�??????????????±15.0°????????????? ±9.1°??????????????杈�??????????????????杈�????????????瑁�???5?????

?4????????????????????????5?????杈�????

???????MEMS??杈�????????MicroVision?????????????????????????MicroVision????????????骞�?????????????MEMS??杈�?????????????杈�??MEMS芯?????4.65mm x 7.55mm????????渚�????1mm?????????????43°??????????????24°??MEMS??杈�??????????????????????????MEMS芯????????45°??MEMS芯???????????????????????????????????????????????????????胁?????????????????????????????27kHz??MEMS??杈�???????????????????????????????????????瑁�?????? ????????60Hz?????????????????????MEMS??杈�????????????琛Ｐ�??????????????胁???????????????????????位?煤???????MEMS??????路??????????????????????????????

????????????????????????????????????????MEMS??杈�?????6????????杈�?????????2.6mm??谐??????530Hz???????????±18°??????????????±20mA??????????????????琛�

?6????????????MEMS??杈�

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????芯???????????????????????????????????????????????????????????????????????????杈�?????????????杈�???????????????????????????????????????????

?????????????MEMS??杈�???????????????????些?????校??????????????????????些??

????????MEMS??杈�????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??杈�?????7??????????????????????????芯????小????????????????????????????????????????????????MEMS??杈�??????????????谐???????????????????瑁�????????????????????????????????????????MEMS??杈�?????8?????霉????????????????????????????琛�????????????????婕�??????????????????????????????????????????????????些???????????????????????????????????????????????????????????????????谐?????????????????谐??????????????谐??????????????????????????

?7??????????MEMS??杈�???8?????????MEMS??杈�

?????????MEMS??杈�?????????????????????????MEMS??杈�?????????????????????????????????????????些?????????

????????MEMS??杈�?????小?????渚�????????????????????????????????????/?????????????????????MEMS??杈�????y????????????????????????????????????????????????????????

?1?????????Fraunhofer???芯????????????????1.064μm????????2000W??????????MEMS??杈�???芯???????????MEMS??杈�????????????????????????谩???????????杈�?芯??????????????谐??????????10???????????????????????????????????????????????????谐???MEMS??杈�???芯???????????

??????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??杈�??????????????????????????????MEMS??杈�??????????????????????????渚�??????????????????????????MEMS??杈�????/????????????????????????????????

?????????MEMS??杈�????未????????????????

????????MEMS??杈�????????????????????????????????????????????????????????MEMS??杈�????????????????????????缇�?妤�??????????MEMS??????????????MEMS??杈�????????????????????????110°?????????????25~40°??谐??????????kHz????MEMS??杈�???????????????杈�???????????????????????????????????MEMS??杈�????????????????????????杈�???????????????????????????????????????????????????MEMS??杈�???????????????????????????懈?????????????????MEMS??杈�?????????????路?????霉????

???????????????????????????????MEMS????MEMS????????蟹?????????????

???????????????????MEMS??????????锌??????????????MEMS?芯??椋�??????????MEMS??????????蟹????????MEMS???????????小??????MEMS?????????MEMS??杈�???????????MEMS??????????????MEMS???????????MEMS?????????????????????????纭�??????????????????????械??????????????

????????MEMS?????????????????芯????SITRI??????????????泄??MEMS???????????????????????????????MEMS????????????婕�??MEMS????????????????????????????????TO???????????????????MEMS??????????MEMS????????芯????????路???????????????????????????????????????MEMS??杈�?????????????????????????3D?胁?MEMS???????VR/AR???????????????????????谐???????????????????????????????????????????????????????????MEMS??杈�?????????????????????谐????????????MEMS?????????????谐?????????MEMS???缂�????“??????”????????????????MEMS?????????????????????????携??????????????MEMS???????????

?????????

??2017?????????????????????????

?????MEMS???霉????????“?????”??

?????MEMS??????????????????

??MEMS??????-2016?妗�

??MEMS??????????????????????????????

??3D???????谐?-2016?妗�

???????????小???????????????????MEMS?????