???????????????з???????????

????????

???????п????????????????????????????????У???????2010??????????????????о??????????????????????MEMS??????о?????鼰??????з??????????????????????????о??????????????????????????????????????????о?????????????????????в???????????????????з????????????????д?????????????????豸???????????????????????????????????????????????????????????MEMS???絥?塢??顢???????????????????????

2018?????????л???й???????????????“??????”???????????й??????????г?????????????е????MEMS???????????????????????????????????????????????к??????????????????“????????-??????????????????????????”????????“????????????”?????????????????????????????????????з????????????????-???????????????????????????????????????????????е??????????????????????

?????????з???????????

????????????????л????????????????????????????????1????????????????????????????????????е???????

????????????д??????????????????MEMS????????MEMS???????????????20?????MEMS??????о????飬??????????????——??????????MEMS???緢????1?Sessler????????о????????????????￡?????????????????з?????????????????????????????й?MEMS??????????2005???????????????????????????????????AAC?????????о?????????? ??2018???????????е???MEMS??????з?????????????????MEMS??????з??????????????????????????????????AAC??????????????????????????????

????????????????????????????“??к???о?????”??MEMS????????????????????????Щ?????????????????Щ????????

?????????????????????????????100??????????MEMS??????о??????????????????????????????????MEMS??????е?????????????????

??????????????????????????????????????Σ????????????Щ???????????

??????????????????MEMS????о?????????????????????°??? “???????”??“?????????”?????????????????MEMS??????о????????????????з??????????????????λ??????????????????????????????е?MEMS??????о??????????????棬?????????????????????????????????????2018??????????????飬??????????????п?????????????????????????????п?????????????

???????????——MEMS??????д?2018????????г???????????????ɡ?TCL?????????????????????????????????????????????????“???????Σ???????”???????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????????????????????в????????о?????飬?????????????????????????????????????????????2014?????????????????????????????????????????????????飬???????MEMS???????????????????????????????????????????????????MEMS????о???????97%?????????豸?????????????????????????????豸??????????16???????????????????????????????

??????????????????-??????????????????????????????????????????????????????????????????

???????д????涭?3??????????????????′?

?????????-????????????????????????????????????????????AI??????????о???????????????????????????????????????????????????????????——??????????о??????????γ?????????硢???????????????????????????????????????????????????У????????????????????????????????????

???????ù????????Audio Precision??Listen?????????????????????????????????????????????????????2????????????????????????????????????????????

????????-?????????????????????????????

?????????????-????????????????????????????????????????ν???????????????Э?Ч???

????????????“????????????????????”????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о?????????????????????????硢?????????????????????????????????????????????????

????????????????е?????????????MEMS?????????????????????Щ?????????????г??????????????н??????Щ?????????????г???

??????????????????????MEMS????????о?????????????????е??????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????1?????????????A4???1/100??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Ч????????????????????????????

?й??г???????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????絥??????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????MEMS??????????Щ??????о??Щ????????????

??????????????е?MEMS??????????????????TWS????????????????????????????????????????????????????????????????ɡ?TCL?????????????????????????????MEMS???????????????й???????????????С??????????????????????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????0.9 mm x 0.9 mm??MEMS????о?????????裨Infineon?????г???????С????MEMS????о???????????????????????????????????

????????????е?0.9 mm x 0.9 mm MEMS????о??????????????????????????????????3dB???????2018??????????????????????????????????????????????????????ó???????????????2000???????????????????????????????8 KK/?￡??????12?·???????????12 KK/???

????????????????????????У??????????????Щ??λ??????????MEMS???????????????????????????

?????????????Σ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????з????????????о???????棬???????????????????????????????????????Э?????????????????????????????????????????????????????е?CP??FT??????????????????????о??????????????????????????????????????

????????????????????????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????Щ?????

??????????????е?????????????????????е?MEMS?????????????????????????????μ???????????????????????????????????й??г???????????????????????????????????????????о??????????μ??????????????????MEMS???????????????????

?????????￥??????Knowles????????????????DSP??????????????????????MEMS?????????OPPO??vivo?????????????????????????????MEMS?????δ???????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????繒??????????????????????????????????????????????????ó????????????????μ????????????????????????

?????????MEMS????о?????????????????????????????MEMS???????????????????г????飬??????????????????г??????MEMS???????к????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????????????????г???????????????е????ξ??????о????????????????????????й??????????????г????????????????

?????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????ó????????????????????MEMS?????г??????Σ????????????????е????滮·??????

?????????MEMS?????????????о??????????μ??????????????????????????????????????MEMS????????????????????????????????ж????????????????????????о?????????????MEMS?????????????

??????????????????????????????MEMS????????????????????????????????й?MEMS???????????????????Щ???δ????????????η????

?????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????о???????????????????о???MEMS???????????????????????ι?????????????????????????????о???????????????MEMS?????????г??????й????????о????????????к????????????????β?????????????????????????????????о??????????к????????????????????

?????????????????????й???????????????????????????????????????????“?????????”??

??????????????????2011??????????????????з??????????о???????????????????????????????????????????????????????о?????????о???С?????з??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????о??????????????????????????????ɡ?

????????????????????MEMS????????????????????1 kPa???μ???????????????о????????????????????????????60 MPa?????????о????????????????????????о???????????????????

????????????????п?????????????????????綯?????????????о????????????????????????????????????漶???????????????в???????????????????Щ?????

???????????????к???????????????????????綯?????????????????????????????????????????о????г?????????????о??м????????????????????????????漶?????????????????λ?й?????????ж??1???????????裬????????????????????????????????????????????????????й??綯??????????????????

????????????????????????????????????????????????????30%?????????????г?????????

????????????????????????????????????????????Щ????????????????????????????????Щ???????????

????????????????????????????????????????硢??????????????????????????????????????г????й???????????????????????????MEMS??????????MEMS???磩???????????????????????????г?????????????????????????????????????????????????г??????????????????????????????г???????????????????????????????????

?????????????????????????????δ???????滮??????????

???????????????л?????“???????Σ???????”???????????????????????????????????????Щ??????????????????г????????????г??????MEMS??????о????????????????????????????????????????????????????????????δ?????????????к???MEMSо??????????????????????????

?????????

??MEMS??????-2019?桷

????????????????????????-2019?桷

??Vesper????MEMS???磺VM1000??

?????iPhone X?е?MEMS???鹼??