?????????????о???????????????3???????

?????????????????????21??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????崫?????????????????????????????Yole??????????????????????-2018?桷???棬????????????HVAC????????????????????????????????崫?????г??????????????????2022????????崫?????г????????????10?????????????г?????????????????г???????λ?????崫?м????????緋???????????????壨MOS?????????????IR????2017????г?????????44.2%??38.3%???15.1%??????????????з??????????????????????????崫??????????????????????о????????????????????????о??????????????????????????????????????????NDIR?????崫??????MEMS?????????MEMS??????????????????????????????????????????????о???3???????????????????????????????崫?д??3????????????????????

2017?????????崫?м??????г????

???о???3???????

????????????????л????????????????????????????????????????????????????????о??????

????????????2005???????????????????????????о?????2005??2???????????????????????????????????????з????????崫??????????????????6????????????2011??8?￡????????????????????Τ????Honeywell????????City??????崫??????????????????????????????????????????????2015???????????????????????崫??????ú????????????????????????з?????????????????????崫???????????????????????￠??????????????????????????????????????????崫????????????????????????????????????Щ??????????????????????????

???????????????????????о??????????????裬???????????Щ???????????

????????????2015??7?μ????о?????????????ζ??3????????????9?￡????粩???????????о????????????????CTO????????????????????????????????????????????????????????????????2019??12?￡????????11??????????

2017??7?￡??????????????NDIR????????2017??????з??????????????LARK-1 CO??LARK-1 CO2??LARK-1 CH4??2018??????з??????????????LARK-1L CO??LARK-1L CO2??LARK-1 i-C4H8??2019??????з??????????????LARK-1 CF4 1000PPM??LARK-1 CF4 70%VOL????????????????????????????400?LARK-1??д??????????????????????????????????????????2017??7???????????1????100?????????????390???????101????200?????????????180???????201????300?????????????140???????301????400??????????????90??

????????????о?????崫???????????Щ????????????ü???????????Σ?

???????????????????????LARK-1??з????????????崫??????????????饗CH₄????????????CO?????????????CO₂??????????л???VOC????????????CF₄?????????????????????????????????????????????????????????????????????????з??У????????????????С????????????????????????????á?

???оMEMS??????????????崫????

??????????????????μ緋???????????????壨MOS??????????????????????崫??????????????????????з??????????????????????????崫?????????????????????????????????Щ???棿

?????????緋????崫???????????????????????????????Τ????Honeywell?????????????Membrapor???????DDS?????????????????????????????緋????崫??????????????С?????????????????????á????????????????????????????????????????????????????????緋????崫????????????????￡??????????????????3???乤???????????????????????ж??Ч??

????????????壨MOS??????????????????????????????Figaro????????????FIS???????????????????????MOS???崫??????????????С?????????????????????????????????VOC??????????MOS???崫???????????????????????á?????????????????ж??Ч??????????????????

?????????????崫???????????????????????1?SmartGas?????Horiba?????????????????о??????????????????崫??????????????????????????Dynament?????SGX???????????????????????????????????????????????NDIR???崫??????

????????????з??????????????????????????崫??????????????????????????????????·??棺??1????????????????????????????????硢?????????????7???????????????????з?????????NDIR???崫????????????????????????????????????????2??????????????????к????????????????????????????и???????????????3????????г???????????????????????????????????????????????????????г???????????????????

????????????о??NDIR???崫???????????Щ?????????????ü????????Щ??

?????????????оLARK-1??е?????????????????????????????

1. ??????????饗CH₄????????????10 ppm???￡?????????CO????????????2 ppm???????????CO₂????????????1 ppm?????

2. ????????????1%FS~2%FS??

3. ????????????T90?????3??

4. ???С?????????????С??13 cm??

5. ?????ε?????????????н???????2/3??

6. ????????????????????????????????

???????????У?

1. ???TOC??????

2. ?????к??л?????????????

3. ??????TVOC????????????

4. ????ˉ????????????ˉ???VOC?????

5. ???????CO??CO₂???

6. ???????????SF₆??????CF₄???????

7. ?????????CO₂??????

????????У???????????????????????????????????????????????????Air Product????????????????????????????????????????

????????????о??NDIR???崫?м???????????????Щ?????????????????Щ????????

???????????о????????????????

1. MEMS??????????????????????TO39??????????????????????????к??????崫??????????????????2um ~ 16um???????????????????????????CF₄????????????SF₆?????????????顢?????????????塣

2. ?????????????????

3. ??Ч???????????

4. ?????????????

5. ????μ????????

MEMS??????????????????????????????4???????????6??????????????????3????????????

?????????NDIR???崫??????????????????3???????μ?????????Щ????γ??????????

?????????????????????????????????2/5???????????????????????????????з??????汾??K1??У?????????CO??CO₂??????????K1??е????????????????????150~200?????????

????????????о????м????????MEMS???????????????????????????

??????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS??????????????????eб????????????

?????????????NDIR???崫??????????????Σ????о??????????SmartGas?????????????Щ???????δ????????????η????

????????????????NDIR???崫??????????????????????????????о??????????崫??????????С?

???о???????????SmartGas??????????????SmartGas???????CO??CO₂??CH₄??CF₄??SmartGas????????????SF₆?????????????1500???????????????????о????в?????????????

?????δ??5???????????????????????

1. ?????????????????????????NDIR???????з????????????????????????????????????о??

2. ???о????????????е??г?????????г??????????????????????????????????е??г??????????????????????????????г????????г?????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????NDIR???崫????????????????????Я??豸?е?δ???????Σ?

????????????????????????Я?豸?У????о???????????????????????????????Senseair????????????????????????????????100???????????????????????????????????????

????????????????MEMS????????????????????????????????崫???????????С????????Щ??????????С???????????????·???????о??????????????·???滮??

???????????Pyreos????????????о???????????о???????????????÷??????????·????????????????????????????????μ?????о?????????????????????????????????о??????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????л???VOC????CO₂?????壬?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????г????????Щ??

??????????????????????????????????????????????г???????????????????????г???????????????????????????????????????????????г???????д????????????????????????????“??????”??“???????”??“????????”???????????????

?????????????“???”??“????”???????????????????????????崫??????“???”????????????????????????????????????????崫??????????崫?????????????п????

????????????????????????MOS???崫??????????????????á??????????????????????5????????????MOS???崫?????????????o????2??

????????????о??????????????????????????Щ?????滮??

?????????????????????????????????????????????????????????????·??????μ???????????2???з???????????????NDIR???崫???????????????????????????????????????

?????????“?????????????”???????????????оδ???????????????

????????δ??5???????????л?????2??????LARK-1????????????K1??к??????LARK-2??У???????????????????????????????????e????????????????????о????????????????????????????????????30%~60%???5??????о???????????????3000????????????????????????40%~60%???????????????о???з??????????????????Щ??????????????????

????5???У????о?????????????????????????????????????崫????????????

???????????????????о???????????????????????wangyi#memsconsulting.com??#????@??????綽??17898818163??

?????????

????????????????-2018?桷

??????LED???????????????????ú????????

????????崫??????????-2018?桷

?????????????????????????????崫????????BME680??

??CCS??????л???????MEMS???崫??????CCS801??

??AMS VOC MEMS???崫??????AS-MLV-P2??

??Sensirion???崫??????SGP30??????