??????memsstar?????Tony McKie

?????????????????????????memsstar???????г????????MEMS?豸????????????2004?????MEMS????memsstar?????з?MEMS?????????????豸???????????г???ɡ?memsstar?????????????????о??????????????????????????????????????????memsstar???????豸??????????????????????????????????й???????????????????????????????memsstar?????Tony McKie???????????????????????

memsstar?????Tony McKie

?????????????????????????????????memsstar??MEMS????????????????????????????

??memsstar?????????????????????Lift-off???????????????????????????MEMS?????????????????????????MEMS??????????????????????????MEMS??????

???????о???????????MEMS??????????Щ????????MEMS?豸??У???????????????????????????????磬??????1?Fraunhofer???????????о?????????????÷???裨a-Si?????MEMS???????????????

??????????????????“?????????”?????2020?????1?????????????????л??￡???????ò??????????????????????飬??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

??????2020????????????????????κ???С????????????????????????????????????????????????????????????memsstar??????????????????????2020????????????

?????????????memsstar????????ЩMEMS?豸??????Щ????????

??memsstar????????????????????????????豸????????????????????????????????????????????????????????????о??????????????????????????????????????????????????????????о?????IDM?????MEMS???????????????????????????????????й???????й???塣

?????????????MEMS?豸??memsstar??????????MEMS???????Щ????

?????????????????MEMS?豸?????????????????????????塣?????MEMS?豸?а????????MEMS?????????????????????????????????10~15????????????????????MEMS??????豸???????δ??MEMS????????

???????????MEMS??????????棬????????????????????????????????

?????MEMS???????????????????????????????????????ɡ?????MEMS?????????“????????”??????MEMS??????????????????????????????????????????????????????????ü???????????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????????????и????????????е???????????MEMS?????????磬???????????????????????????????

???????????????????棬memsstar???????????????????????????????Ч????

???????MEMS?豸??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????У??豸??????????????????????????MEMS???????????????

???????????????????????????????????????????????????????????ò????嵥??

??MEMS?????ν????ò????嵥??????????????????????????????????????????MEMS?о????????????????????MEMS?豸????????????????????????????????????????????????????в???????????????????????????MEMS???????????????????????????????????????????????memsstar???????????顣?????????????????MEMS?豸?????????κ??????????????????????????

????????????????????????MEMS?????????????????????????Щ??

??MEMS???????????????????????????1???????????????ж????????????????????????????????????????????????MEMS?????????????????з???????????????????????????г????????????????

????MEMS?????????????????????????????????????????????????乤??????????MEMS?豸???????????????MEMS????з???????????????????

?????????????????????????????12???MEMS?????????????????????????????12???MEMS?????????????Χ“???”??????

??300mm?????????豸???????????????????????????????MEMS??300mm????в???????——???????????CMOS????MEMS???????????????????????????????????

?????????????????300mm??MEMS?????????????塣??????MEMS??????????CMOS????????????????????300mm??CMOS??????????ɡ?????????300mm?????????????????????????????????????200mm???????????????????????????????MEMS?????????300mm????????????

???????????MEMS????memsstarδ?????????Щ???豸??

?????????????????????δ??????κ????豸????????????????????????????????????????????????????300mm?????????豸???????????????????????????????????????????????豸??

???????????????????1??????memsstar????????Щ??????????????

???1????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????VR????????????????????????????????????????????????????Wi-Fi????????????????????????????????跨??????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????ж?????????

????????????????memsstar??????г???????ж?????????????????е?????

?????????????й????????????л?????????????