?????????????????????

??????????????????屑????????????????????????????2004???????????????????????小???????????????MEMS?????????????????????写????????????????????????蟹????????????????????????????????????????????伪??????位??????????????????????????????????????????????A????????????????????????????????泄???????????????????????锌???????????????????????????????????????????????????????

???????????????

???????????谢?????????????????????????????????????????

?????????????????2004??????????????????????贸????????????????????????????????“??????小???????”?????????危??????????????屑??????????????????????霉?????屑?????????????????????????????????????????????????????绻�???????????谐?????????????????????????????????????泄???????CCS?????

?????????????????????????????位??????????????????校???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????2017???2019??????????????????????

??????????????MEMS?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????????A?????????????????????????????????????????????????????????伞?

????????????????????????????????????????????1??????????????????贸????????芯????????????????????????????未????????????????????????????邪???????2??????????????????????????????????????????????

?????????????????????????蟹??璞�??芯????????????????????????

??????????????????????????????????????????????谐???????????

?????????????????????????????????????谐??写??????????????????????????????????????械???????????????????????????????????????????校?MEMS???????????小???????????????校?FBG??????????宀�???????????小???????????蟹???????小???????????????????胁????

?????????????????????BA-FDS20—FBG?????BA-OFS30--FBG??

??????MEMS???????????????BA-MAD3???????????

??????MEMS???????????????BA-FPP-GEN???

??????MEMS????位?????????BA-MD???

????????????????????????蟹??????????????????????些?????????????????些?????

??????????????????????????芯?????????MEMS????????????????蟹??????????寮�?????????????????????????璞�??????????????绻�?????????????????????????????????61?????蟹??????36????????????25????????????????5?睢�

????????????????????1?????屑?????????????????????????????????????????????

?????????????????????????????????????????FBG??????????????MEMS?????????????????屑?????????????FBG?????????????MEMS???????????????貌??????????????????屑?????????????????

????????????霉???MEMS????????????????????泻?????????????????????????????????????芯???????小???????????????????

????????????????????蟹???MEMS?????????????????MEMS??????胃????????校?

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????MEMS芯????????????????????????????????????????????????????????????????????浠�??

MEMS????????????

?????????“??泻?”??????????????????????????????????????泻渭???????????????????????些?????

????????????????????????????屑?????MEMS????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????伞???????????????????胁?????????????????????????????????????????????????????????????浣�????????????????????绶�??????????????????????????????????????????????????????????????1?????????????????????????????????????????邪?????????????“???”??

???????????????

????????????????????未??????????婊�???

?????????????妫�?????????????????????????位?????????????????????????MEMS?????纬???????????纬??????????????????????纬???????????????纭�

??????????????????渭?12??8??~10?????????????????????泄???????????????????????????????Sensor China 2021????????????????????些??????????????????

????????????????????????????MEMS芯???????璞�??????????????????????