??????????????г????????

???????????????????????????????????“???????”????????2018??7?￡???????????????????????????????????????????????饗Bumping?????????о????????WLCSP????????????TGV?????????????Fan-out???????????????????????????????????????????????????о????ɡ?IPD???????????????????????鼯?ɡ?????????????????????20?????????????????????????????4?絽12?????о???????????????????????????????￡?????????????????????г??????????????????????????????????????????????

????????г????????

?????????????????????л??????????????????????????????????????????????????????????

???????????????????л??????????á?????2006????????п????????????????????????????????????????????????г???????????????????????????????????????????????????????????????????????ν??????????????????????????????????????????????????δ?????????????????2018??????????????????????????壬???????????г????????????

?????????????????????????????????????????????????????

???????????????2018??7?￡?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????о??????IPD????????????????????鼯?ɡ???????????Bumping / WLCSP / TGV / Fan-out????????????????????????Э??????????з??????????????????????????

????????????????????????????????????Fab????????????????????????????????????15????????????????????????????????顣

???????????????????з????????????????????Щ“???????+??????”?????????????????????????

???????????“???????+??????”???????????????????IPD???????????????????????????????????2.5D/3D????????????????SiP????????????????????????е?????4?硢6?硢8?????12?????????????????????????δ??????????????????????????????????滮2.5D/3D??????????????????

?????????????????????????????з???????????????????飬???????????????????????????????????????WLP?????????????????Fan-out??????????????IPD?????????????????о?????о????????黯????????

?????????????WLP???????????????????????????????????????????????????????????????????????з??????????????????????????????

SAW-WLP???????о?

???????????????Fan-out????????????EMC???????????????о??????????????????????????????????????????????????????????????Ч???????????????????С?????

eMFO-SAW???????о???SEM

??????????IPD???????????????ò????????????·????????????????????????????·??????????????????????IPD?????????WL-IPD??????????Q???С???????????????????????????????????з??????е?????????????????????????????????????????????IPD??????????????????????????????

??????????3D-IPD????????

????????????????????滮???????????????????Σ?

???????????????滮?????????????????????λ????????????в??????????4500??????????н?4???6?羧??????????????????λ?????????????·??????????35000??????????н?4/6/8/12?羧????????????????????????????????????????????????????????1???/?μ?8/12??????????????滮????8???/???????????????????????20?????????

????????????????????????????裨SiC??????????GaN??????????????????????????????????????к?????????????????????????????а???????????????????????????????????????????????Щ?????

????????????????????м???????????????????????????糡?????????????????????????????????о???????????????????????????з?????????????????????????????????????????????λ??????????????????????и?????????????????????????????????μ??????????????????????????????????????????Bumping?????????

??????????????????????????????Щ??????????????????????Щ?????????????Щ?????????

??????????????????棬?????????????????????????????漼???????й??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

???????????????

???????????棬????????о????渲??????????????????????????????????????????????????????????????о????????????????????????о????????????????Ч??С??????衣

???????????????????????????????eMFO????????????????eGFO???????????????Fan-out????????????????????????????????á?

???????????????????????????????????????鼯????棬??????Fan-out???????????????8/12?羧????????о?????????????????????????????·?壬I/O???????????????е??????????????????????????С??????????????????????????????????????????

????????eMFO??eGFO?????????????????????????????????????о????????

1. eGFO Face up??2P2M ??2 Passivation & 2 Metal??

2. eGFO Face down??2P2M ??2 Passivation & 2 Metal??

3. eMFO Face down??2P2M ??2 Passivation & 2 Metal??

????????eGFO??eMFO?????????Die???????????????eGFO???????о??????????eMFO???SAW??WLP-FO???ɡ?

???????????????????·?У???????TSV???????????TGV????????????????????????????????TGV???TSV????Щ?????

?????????????????????????????????????????????????????????????????е?Dk???Df???С???????CTE??????????????и???????????????TGV??????????м?????????Q???У?????????????????н??Interposer??????????????????????????????裩????????????????????????????????????????????????TSV???????????????????????????????????????⾃????????????????????????????????(CTE) ?????????????????????TGV???????????TSV??????????TGV ????⽆?????????????????⼯????????⼯????????????????????????8?粣????????????????????30%???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????и???????????????????????????????????????????????????????????????????????????

????????????????????????????????????????TGV??????????????????5???????????????520:9??TGV??????????С??????9μm??????????TGV????????????У??????????????Щ?????????????Щ?????????

??????????????TGV???????????????????з????????ü????????????????????????????????????????????????????????????????2020?????????????????????????????????????Ч????????????????????????20:1????????????25um????3:1??????????????????????????????10:1????????Dish?????????????????????????5?·???????????520:9??TGV???????????????С????????9um???????????????????????С???????????????????????????????

10:1?????SEM???X-ray?

????520:9??TGV??????????С?????9um??

???????????????????????沼??????????????????????????TGV???????????????????????????3D????????????Interposer??????????????????????д???IPD?????γ?MIM?????????????????3D IPD????????Q???

3D IPD??????SEM?

?????????????5G?????????????????TGV?????????Щ???????

?????????????????????????????TGV??????????????????????????????MEMS????????????????????????????⼴?????⽤?????

??????????????????????з???????????????????????У???????????????

??????????????Σ???????????????Design Rule?????????????????ο????????????????????????????????????????????е?????楨??е???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????齨?????????????????????????ε???????з??????????????????????????????????????????????????￡?FA????????????????????????????

????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????С??????????????????????????

??????????????“??????”??????????????????????????豸???????????棬????????????豸????????????????Э?????????????????з???????????????????????г??????????????????????м????????????????豸??????????γ??????????????????????????????????з????????????????γ????????????????

??????????????????????????δ????????????????

???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

?????????

??????????????????г?-2022?桷????