????????????飡????????????????繤?????????????????8???з???????????????о????????????????????з???????????????????鷨????3???????????20?????????????????????????????

?????????????????????????????????????????????????ˉ????????????????????е?????????????????????????????????????????????????1С??????豸?????????40?????

?????????о???????MEMS????????????????????￡???????????????????????????????????????????????????ι????ˉ???????????????????????????о?????????5????????????????????????????????????????????????9???????

??????????????????????????????????????о?????о????????????????APP?б????????о?????20?????????????????????????????????????????3????????????????????2??????￡?????????????20????

?????????????????????????????????????????δ??????????????????????????????????SGS???????飬????????о?????????????????項????????????????????????????????籩????????????????????ι??????

??????????????м??о?????????????????ж?????????????????С???????γ????????????????з?????????????о???δ???????????????????ú????????????Σ????????????籩????????